반디통 용어집

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플래쉬 - flash

광학식 패턴 제너레이터의 가변식 대형 개구(aperture)를 통하여 광원이 발생시키는 섬광. 도형의 규모를 추측하는 것을 목적으로, 원하는 패턴을 묘화하는 경우의 플래쉬 수를 이용한다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
진동픽업 - vibration pickup

측정대상물에 부착되어 발생하는 진동을 전기적인 신호로 변환하는 소자. 압전형(壓電形), 전자형(電磁形), 저항선왜곡게이지 등이 있다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
주사식 투영 노광장치 - scanning projection aligner

마스크패턴의 일부를 투영광학계를 이용하여, 웨이퍼에 투영하고, 마스크와 웨이퍼를 동기주사하여 마스크패턴 전체를 웨이퍼에 노광하는 노광장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
퍼지모드장착실리더밸브 - cylinder valve with purge mode

퍼지밸브를 동일 밸브안으로 집적화시킨 실린더넥 밸브. 체류부가 없기 때문에 가스의 치환특성이 우수하다. 실린더교환시에 잔류하는 특수재료가스를 완전하게 저게할 수 있기 때문에, 안전에서도 우수하다.

반/디 용어집 설비․환경공정 약품
펠리클 검사장치 - pellicle inspection system

빛의 투과 또는 산란, 반사 등을 이용하여 펠리클 위의 이물 또는 결함을 검사하는 장치. 이 기능이 부가된 마스크 이물검사장치도 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
정전용량방식 - capacitive sensing method

측정하려는 물체와 센서전극간의 정전용량의 변화량을 검출하여, 이 물체의 두께, 평탄도, 휨를 측정하는 방법.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
적외선오븐 - IR oven

가열원으로써, 적외선 히터, 적외선램프를 배치하여 가열하는 장치.

반/디 용어집 베이킹장치 웨이퍼처리공정
챔버제어기 - chamber controller

항온조(恒溫槽)의 온도제어, 온도계측, 온도이상과 챔버의 트래블 등을 모니터하는 챔버의 제어기.

반/디 용어집 사공정 에싱
전단가속 방식 - preacceler - ation system

이온원에서 인출된 이온빔으로, 질량분석계 전에 필요한 가속에너지를 공급해주고, 질량분석을 한 후에 타겟에 이온주입하는 방식.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도핑

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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챔버제어기 - chamber controller

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