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반도체∙디스플레이
통신

혼합․변조 측정 - intermodul - ation measure - ment

주파수가 다른 두 개의 정현파 신호를 디바이스에 인가할 때, 기본파형의 혼합으로 인하여 생기는 임펄스(impulse)의 진폭을 측정하는 것.

반/디 용어집 사공정 혼합형 디버그장치
전해연마 - electro polishing

반도체제조용가스의 공급계에 이용되는 스테인레스제 가스부품의 가스접촉면에 실시되는 연마. 전해액 중에서 피연마면에 전위를 걸어주어 가공변질층이 없는 거울면연마가 가능하다. 표면조립도는 Rmax=1㎛이상으로, 미립자의 발생을 억제할 수 있다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
회전 지그 - rotary and revolution - ary jig

진공증착장치에 있어서, 사용된 웨이퍼 고정기구(jig)의 하나. 증발원에 대해, 여러 개(보통 3개)의 돔 모양의 웨이퍼 고정기구를 배치하고, 증착 중에 각 돔이 자전과 공전을 하여, 넓은 면적을 통해 균일한 막을 얻을 수 있으며, 단차피복성(step coverage)이 뛰어나다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 진공증착장치
핀모니터 - pin monitor

시험을 실행할 때, 테스트시스템의 핀 접촉과 설정조건이 표시된 유틸리티 프로그램.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
프로토콜

데이터 통신을 정확히 실행하기 위한 약속.

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Dash 에칭 - Dash etching

실리콘단결정의 결함을 광학적으로 평가하는 방법의 하나. 이것은조성이 HF:HNO3:CH3COOH=1:3:10의 약품으로, 결정결함을 선택적으로 부식시켜, 현미경 등으로 보기 쉽게 하는 방법. P형의 <100>, <111>의 결정에 적용되는 조성을 갖는다.

반/디 용어집 검사 표면 결함․이물검출
CRT

음극선관(Cathode Ray Tube) 혹은 이를 발명한 독일의 칼 브라운의 이름을 따서 브라운관이라고도 부른다. 진공으로 된 관 내부에서 전자빔에 의하여 빛을 내도록 한 디스플레이 장치를 말한다. CRT는 내부에 히터, 음극, 그리드, 양극 등으로 구성되는 전자총에 의하여 만들어진 전자빔으로 관의 전면에 있는 형광면을 때려 빛을 발하게 한다. CRT는 여러 용도로 이용되고 있지만, TV의 수상관으로 가장 많이 이용되고 있다.

통신 용어집
펄세이션댐퍼 어큐물레이터 에어 챔버 - pulsation damper accumulator air chamber

배관 안의 액체의 맥동을 감소시키는 배관부품으로, 본체내부의 공기실 또는 다이아프램(diaphram)으로 격리시킨 공기실이 에어쿠션으로써 작동하여 압력변동을 흡수하는 댐퍼. 보통 펌프의 배출구 쪽의 배관에 부착되며, 필터를 보호하고, 유즈포이트에 있는 약품에 일정압력을 공급한다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
CAFIS

Credit And Finance Information System의 약자. 일본 NTT가 1983년에 개발한 공동이용형의 크레디트 온라인 시스템. 카드를 이용한 물건구매시의 사고방지와 신속한 처리를 한다. 크레디트카드 회사와 가맹점을 온라인 접속해 통신 프로토콜의 변화, 데이터 교환을 실시한다. 현재는 NTT로부터 분리된 NTT 데이터통신이 운영한다.

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