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정밀여과막 - micro filter membrane filter

MF의 모양은, 원형시트 모양의 평막, 치마주름 모양의 카트리지필터 및 할로우 파이버(hollow fiber) 모양의 중공사형멤브레인필터로 크게 나뉜다. 구멍지름 0.1～0.45㎛의 것이 주로 사용된다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
STM - 1

synchronous transport module level 1

통신 용어집
초점면 - focal plane

노광장치에서 광학계가 초점을 맺는 면.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
할당 주파수 (割當周波數) - Assigned Frequency

무선국에 할당된 주파수대의 중심 주파수. 전파 관리 주관청(또는 허가 주무 관청)은 무선국이 사용할 주파수를 결정하기 위해서는 송신기로부터 발사될 주파수, 전파 형식 및 공중선 전력 등을 고려해서 당해 통신에 필요한 점유 주파수 대역(주파수 허용 편차 포함)을 확정하게 되는데, 이 대역의 중앙 주파수를 할당 주파수라 한다. 특정 업무(육상 이동, 해상 이동, 항공 이동 또는 방송 업무 등)용으로 주파수 대역을 확정, 분배하는 것을 “주파수 업무 분배(frequency allocation)”라고 하고, 이 분배된 주파수를 개개의 무선국에 허가하는 것을 “지정”이라고 하므로 엄밀한 의미에서 주파수 할당과 주파수 지정은 다른 개념이라고 할 수 있다. 또한 어떤 주파수(또는 주파수대)를 공평하게 분배하기 위해 전파 통신 규칙은 세계를 3개 지역으로 구분하여 각 지역용으로 분배하는 것을 “주파수 구역 배당(frequency allocation)”이라 한다.

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좌표재현성 - coordinate long term repeatability

마스크를 마스크 지지부에 올려놓고 빼는 등의 설치를 여러 번 반복하여 마스크 위의 패턴 좌표위치를 여러 번 측정한 값들의 오차 정도.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
회전수설정 시간 - revolution speed setup time

원심건조장치에 있어서 설정된 회전속도까지 도달하는 데 걸리는 시간.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 세정
Ku 밴드

위성 시스템에서 사용되는 12.5 GHz ~ 18 GHz 범위의 주파수 대역이다.

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LAN 매니저

미국 마이크로소프트사의 PC-LAN용 네트워크 OS. LAN 매니저 2.1부터는, 서버 서비스의 하나로서 SNMP 에이전트를 탑재하고 있다.

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플라즈마 디스컴장치 - plasma descum system

산소를 포함한 가스를 넣은 반응실 내에 고조파 전력을 인가하여 화학적인 활성 플라즈마를 발생시켜, 이것에 의해 패터닝된 레지스트 상(像)의 스컴을 제거하는 장치.

반/디 용어집 마스크제조공정 패턴형성장치

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

CFL수 - Courant - Friedrichs...

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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Ku 밴드

LAN 매니저

플라즈마 디스컴장치 - plasma descum system

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