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차지업 - charge - up

이온주입 중에 웨이퍼 위의 절연막 등이 대전(帶電)되는 것. 이 때문에 소자가 이온주입 중에 열화되기도 하고, 파괴되기도 한다. 이것을 방지하기 위해, 전자 플러드건(electron flood gun)이 설치되는 경우가 많다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도핑
정밀연삭 - fine grinding

선택된 면을 이단연삭할 때의 끝마무리 연삭. 보통은 거친 연마보다 입자가 가는 숫돌을 사용한다.

반/디 용어집 기계가공 면가공장치-가공장치
Anti - aliasing

필터링이나 그외의 기술을 이용하여 Aliasing을 약하게 하거나 제거하는 것. 대부분의 최신 DVE와 문자발생기는 앨리아싱 보정회로를 내장하고 있다. Aliasing에서 나타나는 계단형태의 에지나 경계선 등을 직선에 가깝게 처리하는 과정을 말한다. 컴퓨터 그래픽에서 그림의 경계선 또는 직선적인 사선 등을 을 확대하여 자세히 보면 계단과 같은 모양을 나타내는데 이것은 때로 그림의 외각 등을 거칠게 보이게 한다. 따라서 이렇게 나타나는 계단 형태를 줄여주기 위하여 경계부분의 화소와 그 주변의 화소를 비교 연산하여 부드럽게 나타나게 함으로써 계단현상과 같은 형태가 되지 않도록 해주는 기술을 말한다. 대부분의 DVE나 문자발생기(CG) 등은 Anti-aliasing 기능을 갖고 있다.

통신 용어집
파장트래커 - wavelength tracker

공기의 굴절률 변화를 추적하여, 환경의 변화를 광학적으로 보정해 주는 것.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
최대입자 - grain of maximum size

연마재 입자의 평균직경이 최대인 입자.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
평행 다운플로우 린스 - parallel downflow rinse

침적린스조의 윗 방향 먼저 순수를 공급하면, 수조의 밑 부분에 설치된 다공판을 통과하고 같은 유량으로 펌프배수되어 수조 내에 균일한 유속분포의 하강흐름(downflow)이 형성되고, 이 흐르는 순수로 린스한다. 좁은 웨이퍼 간극으로 물이 잘 흐르므로, 수조 안으로 순수의 흐름이 멈추지 않고, 효율이 양호한 린스를 할 수 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
전자식압력조절기 - electric autopressure regulator

종래의 수단에 의한 기계식압력조절방식을 대신해, 액츄에이터에 피에조(Piezo)소자를 이용하여, 전기신호에 의해 자동적으로 압력제어하는 조절기. 압력조절기의 이차압력제어용과 일차압력제어용(배면압력조절기)가 있다. 압력조절기의 유량변동과 일차압력의 변동에 대한 제어이차압력의 변동이 극단적으로 적어, 압력조절특성이 우수하다.

반/디 용어집 설비․환경공정 약품
코드 셰이빙 - Cord Shaving

기존에 시청하던 유료방송을 보다 저렴한 서비스로 갈아타는 것을 뜻합니다. 가입자의 미디어 소비 행태가 다변화하면서 유료방송에 대한 의존도가 낮아짐을 의미합니다.

통신 용어집
측정 옵셋 - measurement offset

측정 데이터의 평균값을 이상값에 가깝게 되도록 하는데 필요한 보정값

반/디 용어집 기본․공통 마스크제조공정

기술용어통 처음으로

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

CFL수 - Courant - Friedrichs...

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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코드 셰이빙 - Cord Shaving

측정 옵셋 - measurement offset

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