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헥소드형 RIE장치 - hexode type reactive ion etching system

육각기둥 모양의 고주파전극을 식각실내에 설치하여, 이 전극 위에 웨이퍼를 부착하여 식각하는 반응성이온 식각장치.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
초퍼기구 - chopper mechanism

각종 증착장치에 사용되는 증발원과 웨이퍼과의 사이에 회전슬릿식 셔블(shovel)기구. 증발할 때의 증발량의 미량을 제어할 목적으로 이용되고 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
타임 모듈 레이션식각 - time modulation etching

플라즈마의 발생과 바이어스 전원의 온/오프 등을, 마이크로 초(micro-second)에서 밀리 초(millisecond)까지의 차수로 시간변조시켜 식각하는 방법. 플라즈마를 펄스변조하여 식각하는 방법을 특히, 펄스변조식각이라고 한다.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
헤테로지니어스

Heterogeneous. 네트워크에서 메인프레임이나 PC 등 규격이나 처리능력이 이기종 컴퓨터 간을 하나의 네트워크로 묶는 것을 의미. 단어 뜻은 이기종의 혹은 이질의 의미로, Homegeneous(동질의)의 반대어이다.

통신 용어집
프린지 - fringe

레지스트 도포된 마스크 블랭크의 코너부분에서 발생되는 레지스트의 후막영역. 기판을 회전시켜 레지스트를 도포하는 방법 때문에 생기지만, 도포 조건의 최적화에 의해, 이 후막영역이 없는 블랭크를 프리지리스(fringeless) 또는 프린지프리(fringe free)라고 부른다.

반/디 용어집 마스크 블랭크 제조 마스크제조공정
천정패널 - ceiling panel

낮은 발진성(發塵性), 평활성, 내식성, 기밀성, 낮은 대전성 등의 특성을 갖는 청정실용 천장재. 비일방향류형 청정실 또는 수평일방향류형 청정실에 이용되어, 수직일방향류형 청정실에는 이것을 대신하여 천장필터시스템이 이용되고 있다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
탑 링 - top ring

ID 블레이드를 장력헤드에 고정하고, 보호하며 브레이드를 잡아당겨 올리기 위한 링.

반/디 용어집 기계가공 절단장치-하드기능
헬리컬형 식각장치 - helical etching system

유도결합 안테나가, 기둥 모양의 유전체 플라즈마생성실 주위를 둘러싼 코일인 유전결합형 플라즈마식각장치

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
향류재생식이온교환장치 - counterflow regeneration ion exchange equipment

처리수를 얻기위한 물의 흐름과 재생약품의 흐름이 거꾸로 되는 이온교환장치. 같은 뱡향으로 흐르는 순류식이온교환장치에 비해, 좋은 처리수질이 얻어져, 재생약품이 절약된다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물

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자주 찾는 용어

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감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

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최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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