터빈 모양의 날개를 가진 고속회전 로터를 회전시켜, 날개에 충돌하는 기체 분자에 운동량을 주어 기체를 운송하는 기체운송방식 진공펌프. 분자가 흐르도록 해야하는 곳에서 유용하게 사용된다.
반/디 용어집기본․공통웨이퍼처리공정
파이널웨이퍼테스트 포스트테스트 - final - wafer test
용장회로를 갖는 메모리디바이스의 웨이퍼테스트 공정에서, 특히 불량구제처리를 한 후의 테스트를 가리킨다.
반/디 용어집기본․공통사공정
풀테스터 - pull tester
와이어본드의 인장강도를 시험하는 장치. 접합된 와이어를 잡아당겨, 강도를 측정한다.
반/디 용어집조립공정검사평가
중력식여과기 - gravity filter
여과기의 구조가 개방조이며, 그 흐름이 위에서 아래로 흐르는 자연류하(流下)인 장치. 압력식여과기에 대응하는 명칭이다. 여과구성은, 모래단층 또는 안tm라사이트와 모래의 2층여과가 많이 사용되고 있다.
반/디 용어집사공정에싱
자장측정기 - magnetic field measuring instrument
자계, 자속밀도, 자속의 크기를 측정하는 기기. 전자유도에 의해 코일에 발생하는 전압을 측정하는 서치코일(search coil)법과, 홀효과(Hole effect)를 이용한 가우스미터가 주로 이용된다. 그 외에 플럭스게이트(flux gate)법과, 초전도를 이용한 스퀴드(squid)법이 있다.
반/디 용어집청정실설비․환경공정
크로스버 스위치
상대방 번호에 의해 격자모양의 다단회로에서 접속경로를 접속하는 교환기. 전화의 자동교환기에서 사용하는 것을 보면 알 수 있다.
통신 용어집
하이퍼 텍스트
문자, 이미지, 음성, 화면 등의 데이터를 서로 관련시켜 구성한 전자문서.
통신 용어집
주변노광 선택노광 - optical edge bead remover
웨이퍼 주변부에 부착된 레지스트를 제거하는 한 방법으로, 현상할 때의 주변부 레지스트가 제거되도록 웨이퍼 주변을 노광하는 것. 액체에 의한 린스제거법에 비해, 오리엔테이션 플랫부분도 함유하는 레지스트의 제거가 가능하다. 웨이퍼 주변부의 레지스트를 제거하는 것은 노광기 등의 다른 장비에서, 파티클의 발생원이 되는 것을 방지하기 위함이다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정도포장치
트윈 아크 용접기 - twin arc welding machine
용접시공에 있어서의 아크방전시에, 극미량의 고체불순물과 기체불순물이 배관접합부에 침입하는 것을 방지하기 위한 접합부자동용접기. 용접헤드 내의 2개의 방전전극을 장착하여 아크방전시의 아크를 동시방전시켜, 배관접합부에 왜곡을 발생시키지 않고 자동용접할 수 있다.