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ECR 플라즈마 CVD장치 - electron coupling resonance plasma enhanced CVD system

마이크로파 도파관을 연결하고, 주위에 자기장 발생기기가 설치된 플라즈마실과, 웨이퍼를 수납하는 반응실로 구성된 CVD장치. 2.45GHz의 마이크로파와 875G(87.5mT)의 자기장에 의해, 고주파플라즈마를 발생시키는 이온원을 이용하여, 반응성가스를 분해하여 저온으로 웨이퍼 위에 박막을 형성한다.

반/디 용어집 CVD 장치 웨이퍼처리공정
SEM모니터 - SEM monitor

전자빔의 주사에 동기시켜서 CRT(브라운관)을 주사하면서 전자빔 주사에서 기판표면에서 발생하는 반사전자, 이차전자 등의 신호를 이용하여 CRT의 휘도를 변조함으로써, 기판표면의 확대상을 CRT위에 표시하는 장치.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
JCSAT - 3

일본이 1995년 8월에 쏘아올릴 예정인 위성.적도 상공 동경 128도에서 쏘아올릴 예정(1,2호기는 150,154도)이다. ku밴드 28개, C밴드 12개의 트래폰을 탑재, 일본은 중국, 러시아로부터 인도, 오스트레일리아, 하와이 등 아시아 13개국을 중심으로 지구의 거의 1/3을 커버하게 된다. 대역폭은 54M, 36M, 27MHz를 탑재한다.

통신 용어집
자외선산화장치 - ultraviolet - ray oxidation equipment

배수중의 유기물질을 자외선 조사하여 산화분해처리하는 장치. 산화제로써 과산화수조, 차아염소소다, 오존 등을 병용하는 경우가 많다.

반/디 용어집 초순수장치 설비․환경공정
편향기 - deflector

전계 또는 자계를 이용하여 전자빔의 진행방향을 휘게 하는 것

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
제전장치 - charge neutralizer

대전되어 있는 물품에서 정전기를 재빨리 제거하는 장치. 접지에 의한 제전에는 유효하지 않고, 절연체와 동작대상에 유효하며, 이오나이저, 진공자외선조사제전장치, 연X선조사제전장치 등이 있고, 사용분위기에 따라 구분된다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
PVC

Permanent Virtual Connection의 약자. 고정 접속에 의한 정적인 컨넥션. X.25 패킷교환이나 프레임 릴레이 등에 있어 단말기 간의 접속방법의 하나. 교환기에 논리 채널 식별자(VPI 또는 VCI)와 상대방의 어드레스를 고정적으로 설정하는 것으로 실현한다. 설정작업은 ATM 스위치의 관리 콘솔로부터 실행. 패킷교환에서는 Permanent Virtual Circuit로 표현하고 있지만 ATM에서는 Connection으로 부른다. PVC에 대해 통신을 개시할 때 상대를 지정하는 방법을 VC(Virtual Call:상대 선택접속)라고 한다. cf. 화학에서 PVC는 polyvinyl chloride를 말한다.

통신 용어집
Q스위치 펄스광 - Q - switch pulse beam

초음파 Q스위치소자와 포켈스 Q스위치소자에 의해 0～50kHz 정도의 주파수에서 변조되어서 펄스 모양으로 발진하는 Nd:YAG 레이저 등의 레이저광

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
현상전 베이킹 PEB - post - exposure bake

단일 파장의 빛으로 노광할 경우, 정재파(standing wave)에 의한 레지스트 패턴(레지스트측벽 모양)의 변화를 줄이기 위해, 노광한 후 현상하기 전에 베이킹하는 것. 또, 화학증폭형 레지스트 노광 후의 접촉반응을 촉진하기 위해 실시한다.

반/디 용어집 베이킹장치 웨이퍼처리공정

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감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

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