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확장메모리 - EMS

Electronic Mail Broadcast to A Roaming Computer의 약자. 페이저 서비스를 사용해서 PC 등에 정보를 제공하는 서비스. 페이저를 PC 등의 단말기에 접속함으로써 단말기에서 정보의 검색, 가공이 가능하다. 미국 모토로라가 RS-232C 등의 인터페이스를 사용, 무선 모뎀을 개발, 시판하고 있다.

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테일처리 - tail process tailing

결정성장의 최종공정으로, 바디완료와 동시에 점차 결정직경을 감소시키는 방법.

반/디 용어집 결정성장 웨이퍼제공정
재생폐수중화장치 - regeneration waste water neutralizing equipment

이온교환장치의 재생에 사용되는 농후산, 농후알칼리의 재생폐수를 중화처리를 하기 위한 장치. 보통, 교반혼합설비, pH조절설비, 중화제 주입설비 등으로 구성된다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
SCSI 방식

빠른 속도와 다수의 드라이브를 지원이라는 측면에서 아주 뛰어난 기능을 제공한다. 그러나 이 방식은 별도의 스카시 인터페이스 카드를 구입하여야 하며, CD-ROM 드라이브의 가격이 비싸기 때문에 많이 사용되지는 않는다.

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타이밍발생기 - timing generator

피측정디바이스를 평가하기 위해 테스트시스템이 구비하는 각종 타이밍신호의 발생기.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
전자 플러드건 - electron flood gun

이온주입 중에 발생하는 웨이퍼의 정전하 차지업(charge up)을 방지하기 위해, 저에너지의 전자를 웨이퍼에 공급하여 중화시키는 기구. 전자총, 전자샤워(electron shower)라고 한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도핑
후단가속 방식 - post acceleration system

질량분석 전에 이온빔을 20～40keV의 낮은 에너지로 가속하고, 질량분석 후에 필요한 에너지로 가속시키는 방식. 후단가속방식은 소형의 질량분석 자석으로, 보다 높은 에너지의 주입을 실현할 수 있다.

반/디 용어집 이온 주입장치 웨이퍼처리공정
텔레터미널

일본 시티미디어(JCM)가 제공하는 무선데이터 통신서비스. 패킷 단위의 종량제 과금방식이 특징이다. 짧은 메시지 교환이나 대화형 애플리케이션용이다.

통신 용어집
핀홀 - pinhole

차광막․레지스트막 등에 존재하는 작은 구멍

반/디 용어집 마스크 블랭크 제조 마스크제조공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

CFL수 - Courant - Friedrichs...

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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텔레터미널

핀홀 - pinhole

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