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CPU와 기억장치및 주변장치들의 데이터 전송을 담당하는 전송로

통신 용어집
P편광브루스터각입산산소농도측정법 PPB - measurement method of oxygen by spectro scopy with P - polarized radiation at the Brews - ter angle

Si 웨이퍼 속의 산소농도를 적외선 흡수법으로 측정할 때, 적외선 P편광을, 브루스터각으로 입사시켜, 웨이퍼 속의 격자간 산소농도를 측정하는 기술. 반도체 디바이스용 Si 웨이퍼는, 보통 한쪽 면을 거울면연마하여 수백미크론 두께로 얇기 때문에, 종래의 수직입사적외선투과법으로는 입사광이 웨이퍼 안으로 다중 반사하여, 농도를 측정하는데, 본래의 거울면 웨이퍼 산소농도를 고정밀도로 측정할 수 있다.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
촉매수지탈산소장치 - oxygen reduction equipment with catalytic resin

패더디움을 달아놓은 이온교환수지에 환원제를 혼합시킨 물을 공급하여, 수중의 용재산소를 제거하는 장치. 패더디움의 촉매작용에 의해, 수소가스 또는 히드라진과 수중의 용재산소를 반응시켜 제거한다. 용재산소 이외의 용재가스는 제거할 수 없다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
회전식잉곳절단기 - rotating ingot slicing machine

반도체제조절단기에 있어서, 잉곳을 회전시키면서 절단하고, 얇은 판을 제조하는 기계. 이 방법으로 절단하면 잉곳의 중심부분에서 갈라진다.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
자기커플링회전도입 - magnetic coupled feedthrough

진공분위기 속에서 회전시킬 경우에 있어서, N극 S극의 자기결합력을 이용하여 외부회전구 동력을 전달하는 방식. 비접촉회전이며, 많은 경우 진공과 대기와의 사이에 차단벽을 갖는 구조이므로, 진공봉합(seal)의 수명은 무한대이고, 높은 진공을 유지하는 데 유효하다.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
크로스오버 - crossover

전자총 캐소드면 위의 서로 다른 곳에서 방사된 전자가, 전자총 안에서 전계의 영향을 받아, 모여서 교차하는 것. 이 위치에서 전자빔의 단면적이 최소가 되어 전자빔의 세기가 가장 크므로, 실질적으로 전자원이 된다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
헤더

셀, 프레임, 패킷 등의 앞에 저장돼 있는 제어정보. ATM 셀은 5바이트의 헤더 필드와 48바이트 데이터 필드로 구성한다. 셀 헤더 중에는 GFC(프로제어용), VPI(바이찰 버스의 식별자), VCI(바이찰 정보의 실별자), PT(셀정보 실별자), CLP(셀폐기 프라이어러티), HEC(헤더 에러를 검출하기 위한 비트) 등이 저장돼 있다. PT는 폭주를 알릴 때 사용한다.

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정벽 - crystal habit

동일한 결정에서 동일 지수면의 발달정도가 다르기 때문에 발생하는 외형변화.

반/디 용어집 결정성장 웨이퍼제공정
RCR

research and development center for radiosystems. 일본의 전파시스템개발센터. 민간의 무선통신기술 표준작성단체이다. 통신기기의 접속성 등을 확보하는 레벨까지 표준화한다.

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