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CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

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X선광전자분광법 XPS - X - ray photo - electron spectro - scopy

시료에 일정한 에너지의 X선을 조사하여, 발생하는 광전자의 운동에너지를 측정하여, 시료구성원자의 화학적 시프트에 의해 결합상태를 확인하는 방법.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
진동식멀티밴드톱 - vibratory multi band saw

가공물 또는 밴드에 진동을 주어, 가공능률을 개선시킨 밴드톱절단기.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
패턴 룰 - pattern rule

디바이스를 설계하는 경우 패턴의 수치단위(sizing) 및 레이아웃(layout)에 관한 규칙.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
팝핑현상 - poping

많은 양의 이온을 주입할 경우, 레지스트 표면에 수소원자가 빠져나가, 남아있는 탄소가 딱딱한 층을 만든다. 애싱속도를 증가시키기 위해 레지스트를 가열하면, 표면이 변질되어 크랙이 발생하고, 내부에서는 가스가 발생한다. 이때, 플라즈마처리를 하면, 표면의 크랙으로 라디칼이 침투하여 표면이 깨지면서 가스가 분출되는 현상.

반/디 용어집 애싱장치 웨이퍼처리공정
확산성 - wettability

다이와 패키지를 접합시키기 위하여 이용되는 접합재료가 확산되는 정도.

반/디 용어집 조립공정 본딩
VRTP

Vines routing update protocol

통신 용어집
집속이온빔 수정장치 FIB 리페어 - focused ion beam repair system

전자와 비교하여 질량이 무거운 이온을 가속, 집속시켜 마스크를 수정하는 장치. 반응성 가스를 불어넣은 카본 또는 금속을 석출하여 백결함을 수정하기도 하고, 마스크 표면의 크롬 등을 스퍼터링하여 흑결함을 수정할 수도 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
WWW

World-Wide Web의 약자. W3으로도 표기. 스위스 CERN 연구소에서 개발됐다. Mosaic라 부르는 GUI 툴에 삽입돼 있다. 고퍼(Gopher)가 링크를 뻗치고 있는 파일의 내용에서는 알 수 없는데 반해, WWW는 정보 중에 오히려 링크를 끌어넣는 것이 가능하다. 도큐먼트에서 관련기사를 참조하는 용도에 좋다. HTML(하이퍼텍스트 기록언어), HTTP(서버/클라이언트간의 통신 프로토콜), URL(HTTP를 이용해서 인 터넷 상의 자원에 액세스하기 위한 이름붙이기 작업) 등의 기능을 갖는다.

통신 용어집
PSL입자 표준입자 - polysylene latex particle standard particle

자동미립자계측기의 교정에 이용되는 표준입자. 단분산(單分散)에 매우 가까운 구형의 입자로 폴리스틸렌 라텍스의 약자. 각종 다양한 지름의 입자들이 시판되고 있으며, 액체미립자카운터, 광산란식카운터 및 표면부착입자측정기 등의 교정에 이용한다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

CFL수 - Courant - Friedrichs...

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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