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층간지로더 - inter leaf load

리드프레임과 층간지(interleaf)가 서로 적층된 상태에서, 리드프레임만을 반송레일 위에 공급하는 장치. 층간지는 별도의 상자에 수납된다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
테일 바톰 - tail bottom

결정성장한 결정의 꼬리부분.

반/디 용어집 결정성장 웨이퍼제공정
평판마그네트론스퍼터링장치 - planar magnetron sputtering system

자력선이 평판 모양의 타겟 속에서 나와 다시 타겟쪽으로 돌아가는 구조의 캐소드(cathod)구조로 되어 있다. 자기장은 타겟 위에서 루프모양(race track)으로 전자를 이 공간에 가두는 구조로 되어 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
프리스퍼터링 - pre - sputtering

스퍼터링장치에 있어서, 웨이퍼에 막을 성장시키기 전, 타겟 표면의 오염층(자연산화막을 포함)의 제거와 타겟표면의 안정화를 위해 실시되는 예비 스퍼터링. 보통은 셔터를 닫은 상태에서 스퍼터링한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
자동용융레벨제어시스템 - automatic melt level control system

쵸크랄스키장치에서 결정을 성장시킬 때, 결정이 성장함에 따라 도가니 안의 용융액면이 낮아지는데, 도가니를 상승시켜 이 용융액면의 상대적 위치를 일정하게 제어하는 시스템. 질 좋은 단결정을 얻기 위해서는 가열히터에 대해 상대적인 용융액면 위치를 일정하게 제어하는 것이 중요하다. 레이저광선을 용융액면에서 반사시켜 그 각도를 일정하게 하는 제어 방법이 주류이다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조
TA

terminal adaptor

통신 용어집
조간이송 시간 - bath - to - bth transport time

습식세정장치의 수조에서 다음의 수조까지 세정대상물을 운반하는 데 필요한 시간.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
플라즈마박막화법 - plasma assisted controlled thinning method

Si 웨이퍼와 석영유리 등의 각종 재료로 초고정밀도의 평탄도를 요구하는 얇은 판을 가공하는 방법으로써, 표면상태를 측정하면서, 국부적으로 플라즈마로 식각하여 고정밀도로 가공하는 방법.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱
팝업/풀다운 메뉴 - pop up/pull down menu

새로운 소프트웨어를 구입한 후에 이것을 동작시키려면 소프트웨어를 구성하는 많은 명령을 암기하거나 이해해야 한다. 하지만 많은 명령을 모두 기억한다는 것이 결코 쉬운 일이 아니다. 그렇다고 모르는 명령들을 사용할 때마다 매뉴얼을 뒤적거린다는 것도 여간 번거로운 것이 아니다. 팝업 메뉴나 풀다운 메뉴는 새로운 소프트웨어를 실행하는 과정에서 모르는 많은 명령을 간단한 키조작으로 쉽게 사용할 수 있게 만든 메뉴 방식이다. 팝업 메뉴는 특정한 키를 누르면 화면 한 구석에서 윈도우가 예쁘게 열리면서 보기 쉬운 메뉴가 툭 튀어나오고, 커서키로 원하는 메뉴를 선택하여 리턴키나 마우스의 단추를 누르면 하고자 하는 일을 척척 처리해 주는 기능을 가지고 있는 메뉴 방식이다. 풀다운 메뉴는 특정한 키를 누르면 화면의 위쪽에 메뉴의 바가 나타나고 마우스나 키보드를 사용하여 메뉴 바의 항목 중 하나를 선택하면 그 밑으로 서브 메뉴의 창이 열리면서 그 항목에 따르는 서브 메뉴가 다시 나타나게 되어 있는 메뉴 방식이다.

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팝업/풀다운 메뉴 - pop up/pull down menu

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