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증가이동속도 - fast travel

시드이동, 도가니이동, 재료이동, 반응로이동, 보트이동 등 보통의 이동속도보다 10～100배로 보내는 이동속도. 단위는 (㎜/min)로 표시한다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조
트리할로메탄 - trihalomethanes

원수 중의 유기물(주로 후민질)을 염소처리하여 생성되는 물질로, 메탄(CH4)의 수소원자 3개가, 염소, 브롬, 요오드의 할로겐 원자로 치환되는 화합물. 일반적으로 클로로포름(CHCl3), 브로모디클로로메탄(CHBrCl2), 디브로모노클로로메탄(CHBr2Cl), 브로모포름(CHBr3)로 표시한다. TOC성분이 있어, RO장치 등으로 제거된다.

반/디 용어집 사공정 신뢰성 검사
ND 웨이퍼 NTD웨이퍼 - neutron transmut - ation doping wafer

실리콘 결정에 중성자를 조사, Si30의 일부를 P30에 치환하고, 실리콘 저항율을 조정한 기판.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼제공정
ATSC

Advanced Television Systems Committee 미국의 디지털TV(ATV)방식위원회.때로는 NTSC와 같이 위원회의 이름이 TV방송방식 표준으로 불리는 경우에서처럼 ATSC에서 정한 8 VSB 전송방식을 포함하는 미국의 디지털 텔레비전 표준을 의미하기도 한다.

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프리얼라인먼트 - prealign - ment

프로버 등으로 웨이퍼의 각도방향을 일정한 방향으로 맞추는 것.

반/디 용어집 사공정 핸들링
종단에너지 자석 - final energy magnet

원하는 에너지의 이온빔만을 일정각도로 편향시키기 위한 자석. 원리는 분석 자석과 같지만, 이것은 에너지오염을 제거하기 위해 설계된다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도핑
NT1

network termination 1

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형광현미경 - fluorescence microscope

시료하여 발생하는 형광(螢光)을 쉽게 관찰하게 해 주는 현미경. 근자외선을 포함하는 광원(수은램프)와 파장선택 필터, 다이크로익 미러 및 근자외선까지 색수차가 보정된 대물렌즈를 구비하고 있으며, 이물의 종류판정 수단으로써 이용되는 것도 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
IPA회수․재생장치 - isopropyl alcohol reprocessor

세정․건조 등의 공정에 사용되는 IPA(이소프로필알콜)을 회수하고, 탈수, 증류, 여과하여 순환사용이 가능한 순도까지 정제하는 장치.

반/디 용어집 설비․환경공정 물

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

CFL수 - Courant - Friedrichs...

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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NT1

형광현미경 - fluorescence microscope

IPA회수․재생장치 - isopropyl alcohol reprocessor

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