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클린페이퍼 저발진지 - clean paper

청정실 안에서 사용되는 먼지가 덜 나는 종이. 노트, 기록용종이 등이 사용된다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
DMI

distributed management environment

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SDLC

synchronous data link control

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connection oriented

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HDTV

High Definition Television의 약자. 고품질 TV라고 하며, 해상도를 높혀 화질의 향상을 꾀한 TV. NHK의 하이비전 (주파선 1125개, 화면의 종횡비가 9대 16, 아날로그 처리)이 HDTV의 한 방식. 최근 미국에서는 High Resolution Digital Television이 HDTV이고, 디지털이 아니면 HDTV가 아니라고 주장하기 시작했다.

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패턴결함 - pattern defect

기판 위에 형성된 패턴 위의 모양이 정해진 오차 범위를 벗어난 것.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
CNC 응축핵측정기 - condensation nucleus counter

광산란파타클카운터로는 측정할 수 없는 서브미크론 입자를, 과포화증기 속을 통과시킨 입자를 성장시킨 후, 이것을 광산란으로 측정하는 장치. 입자를 입자지름별로 급을 나눈다는 것은 불가능하다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
EBCDIC

Data eXchange Interface의 약자. ATM 포럼이 정한 비 ATM 단말기용 인터페이스의 사양. ATM용 DSU간의 인터페이스이다. 물리 인터페이스와 프레임 사양이 정해져 있다. 물리 인터페이스로서는 V35, X21, HSSI를 이용할 수 있다.

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저항가열 히터 - resistance heating element

고온벽 열처리반응로를 구성하는 전기저항을 이용한 가열용 히터. 쓰루풋의 향상시키기 위해, 급속가열, 냉각이 가능한 히터를 개발하고 있다.

반/디 용어집 산화장치 웨이퍼처리공정

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