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TB

(1)트렁크 블럭 번호(trunk block number). (2)테라 바이트(tera byte). 약 1조 바이트.100만 기가 바이트와 같다. TCI: 1993년 말 현재 1070만 세대의 가입자를 가진 미국 최대의 CATV 회사. 정식 명칭은 텔케커뮤니케이션즈(Tele-Communications Inc).

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플라즈마 손상 - plasma damage

플라즈마를 조사(照射)하는 것에 의한 손상. 이것들은 크게 다음의 3가지로 나눈다. (1) 전극근방에서 발생하는 이온 시스에 의해 가속된 이온과, 웨이퍼와 충돌로 인해 생기는 식각표면의 결합파괴. (2) 방전과 함께 발생하는 플라즈마 중에, 특정한 파장이 웨이퍼에 조사되어 일어나는 이른바 조사손상(照射損傷). (3) 플라즈마 중의 하전입자의 축적에 의한 얇은 절연막(게이트 산화 등)의 정전파괴.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
OLE

object linking and embedding

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ONA

Open Network Architecture

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저항가열로 - resistance heating furnace

결정성장에 필요한 온도분포를 형성하기 위해 만들어진 저항가열체와 인화물로 구성된 반응로.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조
저속전자선회절법 - low energy electron diffraction method

5～500전자볼트(eV)정도의 동일한 에너지의 전자가 이용되며, 표면으로 산란될 때, 이 에너지를 잃지 않는 전자만을 선택적으로 가속, 형광판의 위의 회절상을 맺는 방법. 단결정의 원자구조를 연구하기 위한 기술.

반/디 용어집 물성검사장치 검사
EB측정 - electric beam line width measure - ment

전자선을 이용하여, 마스크 또는 웨이퍼 위에 미세한 패턴 수치단위를 측정하는 것.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
Archie

여러 아노니머스 FTP 서버의 파일 리스트 중에서 필요한 파일을 찾는 기능.

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전압인가 전압측정 VSVM VFVM - voltage source voltage measure - ment

전압원보다 높은 저항을 달아 인가하여, 피측정디바이스에 스트레스를 주지 않는 콘택체크 측정법. 또는, 피측정디바이스에 전압을 인가하여, 피측정디바이스에 걸리는 전압원을 자기진단하는 것.

반/디 용어집 기본․공통 사공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

감쇠비 - damping ratio

마찰계수 - friction coefficient

프란틀 수 - Prandtl number

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