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언더컷 측방식각 - undercut side etching

식각마스크 재료의 끝부분보다 측면방향의 식각되는 재료의 식각이 진행되어, 식각되는 재료의 패턴폭이, 식각마스크 폭보다 감소된 상태. 용액의 식각과 라디칼(radical)의 플라즈마 식각에 현저하게 보인다. 미세패턴의 형성에는, 언더컷을 작게하는 것이 중요한 기술이다.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
스탠드오프 - stand - off

면실장제품에 있어서의 패키지의 밑면과 부착된 면과의 거리.

반/디 용어집 조립공정 마무리
스패닝 트리

브리지 간의 라우팅 알고리즘. 2개의 LAN을 브리지로 접속했을 때, 여러 경로가 존재하는 경우, 사용 경로을 하나로 정한다. 이 기능이 없으면 브로드캐스트 패킷이 루프상태의 네트워크를 순회해 정상적으로 운용할 수 없다.

통신 용어집 스패닝 트리
복사차폐 - radiation sheild

쵸크랄스키법으로 결정성장시킬 때, 성장결정을 포위하는 용융액. 도가니 및 히터로부터의 복사열을 차단하는 기구. 용융액내 대류의 경감, 분위기 가스의 정류화, 인상결정의 온도 균배제어 등의 효과가 있다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조
백린스 - backside rinse

레지스트를 도포할 때, 웨이퍼 뒷면으로 돌려서 부착시킨 레지스트를 제거하기 위해 도포 도중(또는 도포한 직후)에 뒷면에 린스액을 분사하여 레지스트를 제거하는 방법. 린스액을 뒷면에 분사하는 것에서 백린스(back rinse)라고도 부른다. 현상처리시에도 뒤면에 오염물을 제거하기 위해 같은 처리를 한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도포장치
수퍼 컴퓨터 - super computer

수퍼 컴퓨터란 현재 개발되어 있는 컴퓨터 중에서 가장 크고 빠른 컴퓨터를 말한다. 컴퓨터는 크기와 성능에 따라 크게 개인이 사용하기에 적합한 소형의 마이크로 컴퓨터(대표적으로 PC)와 마이크로 컴퓨터보다는 크고 강력하지만 메인 프레임보다는 다소 약한 미니 컴퓨터 및 메인 프레임 컴퓨터로 나누어 진다. 그리고 기능이나 크기 면에서 메인 컴퓨터의 위로 을 수 있는 것이 바로 수퍼 컴퓨터이다. 그러므로 수퍼 컴퓨터는 컴퓨터 계보상 가장 상위에 속하면서 앞서 나열한 그 어떠한 컴퓨터들 보다도 강력한 기능을 가지고 있는 컴퓨터라고 말할 수 있다. 수퍼 컴퓨터는 특별히 짧은 시간 안에 복잡한 데이터들의 처리가 요구되는 정부 연구기관 및 국방기관, 일기 예보 기관 등에 설치되어 사용되고 있다.

통신 용어집 super computer 수퍼 컴퓨터
색상 전반 - Color Gamut

모니터와 같은 디스플레이 장치의 색상 재현 범위. 24비트 컬러인 경우 color gamut은 천육백칠십만 컬러라고 말한다.

통신 용어집 색상 전반 Color Gamut
약품자동희석혼합장치 - automatic chemical diluting and mixing equipment

식각액과 세정액을 제조하는데 쓰이는 약품을 자동적으로 희석하고 혼합하는 장치. 과산화수소계 세정액은 사용직전에 제조해야 하므로 세정장치 안에 포함되어 있지만, 붕소식각액은 안정하기 때문에 미리 대량으로 희석시켜, 사용할 때마다 공급해주는 장치를 사용한다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
시드이동 스트로클 - seed lift travel

시드축의 이동거리. 단위는 (㎝)또는 (㎜)로 표시한다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

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마찰계수 - friction coefficient

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