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차압댐퍼 - pressure setting damper

기압이 다른 공간의 격리벽에 설치하여, 두 공간의 압력차를 안정유지하기 위한 차압조절댐퍼. 일반적으로 미소풍압으로 부상하는 스윙식의 판에 슬라이드 할 수 있는 추를 차압설정용으로 하여 부착시킨 밸런스형이 이용되고 있다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
콜린세정액 - choline - based cleaning solution

콜린[트리메틸(2-히드록시에틸)암모늄하이드로옥사이드]을 주 용제로한 웨이퍼 세정액. 비이온계면활성제를 혼합한 용액은 중금속 세정성이, H2O2를 혼합한 액은 미립자 제거성이 RCA세정보다 우수하므로 일부에선 실용화되고 있다. 계면활성제와 메타올 첨가의 콜린액에 의한 세정을 Summa Clean이라고 부른다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
테일리스와이어컷팅 - tailess wire cutting

볼본딩에 있어서, 스티치부분 근처에서 와이어를 절단하는 방법.

반/디 용어집 조립공정 본딩
제2 본드 - second bonding

제1 본딩 다음에 실시되는 본딩. 제2 본드로 와이어가 초승달모양으로 되는 것을 크레센트(crescent)라고 한다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
직접치환식 세정장치 - direct displacem - ent type cleaning equipment

여러 세정액으로 웨이퍼를 세정하면서 단일한 수조에 A액, 순수, B액, 순수, 처럼 순차적으로 앞의 약액을 뒤의 약액으로 완전히 치환하는 것처럼 공급하여, 웨이퍼 표면을 공기에 노출시키지 않고 일련의 세정처리를 실시하는 것처럼 하는 장치. 보통의 세정장치와 다른 세정조가 한 개이면 되므로, 면적 작다는 이점이 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
증발잔류물측정기 - non - volatile residue analyzer

초순수 중의 불순물은 미립자수․비저항․TOC․실리카 등 개별적으로 측정되는데, 이들 불순물의 총량을 증발잔류물로써 측정하는 측정기. 초순수를 분무하여 기화시킴으로써 이 중에 함유된 입자모양의 물질 및 용재물질을 청정공기중에서 미립자 형태로 석출시켜, 이 미립자를 광학계로 측정하여 통계처리하는 것에 의해 초순수 중의 불순물농도를 ppb로 표시한다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
초순수제조장치 초순수장치 - ultrapure water system

상수도물, 공업용수, 생활용수 등을 원수로 하고, 그 중의 불순물을 고순도 이온교환수지, 고기능막 등을 이용하여 정제분리하여, 고순도의 순수를 제조하는 전체 설비. 장치와 전처리장치, 일차순수장치, 서브시스템으로 구성된다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
트랜스퍼 몰딩 - transfer molding

열경화성수지를 가열실(포트) 안에서 녹인 후, 가열된 금형캐비티에 압력을 가하여 주입시켜 성형하는 방법.

반/디 용어집 패키지 조립공정
출력레벨

모뎀이 송출하는 신호의 크기.

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

CFL수 - Courant - Friedrichs...

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

차압댐퍼 - pressure setting damper

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제2 본드 - second bonding

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초순수제조장치 초순수장치 - ultrapure water system

트랜스퍼 몰딩 - transfer molding

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