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축소환경 - mini environment

제품을 오염원으로부터 격리하기 위해 주위가 둘러싸여진 국소적 청정환경으로, 실용화된 대표적인 것으로, SMIF-Pod, CAVS 등이 있다. 반도체제조장치의 웨이퍼 I/O부분, 웨이퍼반송계 등으로 주위를 설계하고, 국소적으로 고청정도공간을 형성한다. 청정실 전체의 고청도화가 필요없고, 비용절감. 에너지절약의 이점이 있다. 클린튜브방식은 웨이퍼표면의 자연산화막의 형성을 억지한다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
포스 - pos

Point Of Sales system의 약어로 경영에 관한 정보 관리 시스템을 말한다. 이 시스템은 각 판매장에 컴퓨터와 연결된 포스 단말기를 설치하여 각종 데이터를 일단 2차 기록 장치(포스 단말기)에 축적하였다가 중앙의 컴퓨터로 전송하므로써 판매에 관한 사무처리는 물론 시장 조사, 재고 조사 등 유통 경제의 종합적인 관리를 가능하게 한다. 즉 상품 판매시 금전등록기가 하나의 특수 목적 컴퓨터 단말기가 되어 사무 처리를 감시하고, 재고 정리를 위해 자료 파일에 직접 기록하고, 신용 카드의 유효성을 검사하는 등의 처리 기능을 수행한다. POS 시스템은 보통 백화점이나 슈퍼마켓에서 많이 사용되고 있다.

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텔터미널

일본 시티미디어가 제공하는 반이중의 패킷교환서비스. 유선의 패킷교환과 달리 1회선으로 여러 상대방과 통신하는 논리다중은 불가능하다.

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튜브형역침투막모듈 관상형역침투막모듈 - tubular type reverse osmosis membrane module

원통모양의 다공질 지지체의 안쪽 혹은 바깥쪽에 평막 모양의 역침투막을 장착한 모듈.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
칩돌상 플런지업 - plunge up

다이싱된 웨이퍼에서 칩을 하나씩 분리흡착하여 이송할 때, 다이의 뒷면에서 바늘 모양의 핀을 밀어오리는 것.

반/디 용어집 조립공정 본딩
커널 - kernel

커널은 과일의 속(가운데)을 뜻하는 말로 핵심이란 의미를 가진다. 컴퓨터를 사용하는데 있어서 반드시 필요한 프로그램인 운영체제 즉, OS(Operating System)의 여러 서브 프로그램 중 가장 핵심적인 프로그램을 커널이라 한다. 이 커널에는 컴퓨터가 작동될 수 있는 환경을 만들어 주는 초기화 프로그램과 하던 일을 잠시 멈추고 다른 일을 할 수 있도록 해 주는 인터럽트 프로세스, 그리고 모니터의 상태를 살피는 모니터 프로그램, 키보드나 마우스를 관리해 주는 입출력 프로세스 등이 있다.

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포드 - pod

고도의 국소 청정화 기술로 청정실의 비용을 줄일 목적으로, 처리할 대상(웨이퍼)을 수납하여 보존, 반송하는 밀봉된 용기의 총칭. 밑에 주요 구성요소를 선택하여 조합하면 4가지 종류가 나온다. *용기내부의 웨이퍼를 지지하는 카세트 부분이 용기와 다른구조인가, 같은 구조인가 (카세트부분이 분리되는가, 분리되지 않는가) *개구부(開口部)각 앞면에 있는가, 밑면에 있는가

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
훅업 - hook up

반도체제조장치에 전원, 급․배수, 배기 등의 유틸리티를 접속하는 것. 드물게는 반도체제조장치 자신을 설치한 것을 말할 때도 있다.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
효과 에지 - effective edge

마스크 패턴의 절연부에서 빛의 투과율이 같은 점을 연결한 궤적. 패턴의 실질적인 경계선이 된다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

CFL수 - Courant - Friedrichs...

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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커널 - kernel

포드 - pod

훅업 - hook up

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