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X - Y 스테이지 X - Y 테이블 - X - Y stage X - Y table

워크를 가로 또는 세로 방향으로 이동시키거나 위치를 결정해주는 기구부(機構部)

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
TFTP

trival file transfer protocol

통신 용어집
TEOS - O3 CVD - TEOS - O3 atmosphere pressure CVD

반응원으로 액체소스인 TEOS*를 사용하고, 산화제로 O3를 사용하여 SiO2막을 형성하는 상압 CVD. 우수한 단차 피복성(step coverage)과 높은 쓰루풋이 특징이다. 도핑재료로서는 B, P가 이용되고 있다. *tetraethylorthosilicate, Si(OCH2CH3)

반/디 용어집 CVD 장치 웨이퍼처리공정
EOF

에니악(ENIAC)이란 전자식 수치 적분 계산기(Electronic Numerical Integrator and Calculator)라는 뜻을 가진 단어의 머릿말을 인용해 만든 컴퓨터의 이름으로 세계 최초의 전자식 컴퓨터로 인정 받고 있는 기계이다. 에니악은 1946년 미국 펜실바니아 대학의 머클리와 에커드의 주도 하에 미 육군의 포탄과 미사일 탄도의 계산 등 국방 목적의 일을 수행하기 위해 고안된 초대형 컴퓨터이다. 무게 30톤, 크기는 가로 9미터, 세로 15미터의 방에 가득차는 이 기계는 무려 18000 여개에 달하는 진공관으로 이루어졌다. 이러한 엄청난 외관에도 불구하고 에니악의 성능은 계산기의 성능을 벗어나지 못한 수준의 것이었다. 그러나 당시로는 100명에 달하던 인원이 1년은 걸려야 해낼 수 있다고 여겼던 계산을 불과 2주만에 처리해 냄으로써 획기적인 전자장비로 인정을 받을 수 있었다. 에니악은 프로그램을 자체 내에 내장된 형태가 아니고 카드나 종이 테이프 등을 이용, 이를 읽어 들이는 방식을 취한 것이었으나 현재의 컴퓨터와 같은 2진법을 채용한 최초의 컴퓨터이다. 개발된 후 약 10년간의 명성을 누렸던 에니악은 현재 미국 워싱턴 소재 스미소니언 박물관에 보존되어 있다.

통신 용어집
편석 - segregation

용융액으로 응고할 때, 최초에 분출한 고체와 나중에 분출한 고체의 구성이 다르기 때문에 어떤 성분이, 이 응고된 고체의 어느 한 부분으로 치우치는 현상.

반/디 용어집 결정성장 웨이퍼제공정
NTFS

NT file system

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케이크호퍼 - cake hopper

오염먼지탈수기에의해 배출되는 탈수 케이크를 운반차로 이동하기 위해 설치된 저부개폐식의 탈수 케이크 저장조. 구동방식에는, 유압, 공기압 및 전동식이 있다.

반/디 용어집 초순수장치 설비․환경공정
UTP

unshielded twisted pair

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클린부스 청정부스 - clean booth

수직으로 불어넣는 간단한 청정실. 유니트의 천장면에는 팬필터유니트 등이 설치되어 있고, 벽면은 플라스틱의 커텐으로 되어 있다. 작은 공간을 간편하게 청정실화할 수 있으며, 이동시킬 수 있는 것도 있다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

CFL수 - Courant - Friedrichs...

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

X - Y 스테이지 X - Y 테이블 - X - Y stage X - Y table

TFTP

TEOS - O3 CVD - TEOS - O3 atmosphere pressure CVD

EOF

편석 - segregation

NTFS

케이크호퍼 - cake hopper

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