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탑링 탑블럭 헤드 연마헤드 - top ring top block head

마운트판을 지지하고 하중을 균등하게 전달해주는 상판. 수냉기구를 갖고 있는 것이 있다. 회전되는 방식에는 연마정반의 회전방향으로 자전하는 추종방식과 강제적으로 회전되는 방식이 있다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱장치-성능․정밀도
카이네틱 커플링 - kinetic coupling

(탑재대 위에) 볼록한 모양의 3차원 곡면을 갖는 핀 3개를 삼각형의 세 정점에 위치하도록 배치하며 이 핀에, 탑재물에 설계된 세 개의 역V자 형의 홈을 끼워 위치결정을 하는 기구. 300㎜ 웨이퍼 반송기에 이용된다. 결정할 수 있는 범위가 넓고, 자동적으로 중심을 찾으므로 위치결정 정밀도가 큰 것이 특징.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
CD - ROM Title

CD-ROM에 담겨져 있는 소프트웨어를 통칭하여 이르는 말로서 이는 CD 한 장에 다수의 프로그램이 함께 내장되어 있어 하나의 프로그램을 표현하기보다는 내장된 프로그램들을 표현할 수 있는 제목(타이틀)으로 표현하는 것이 더 적합하다는 생각에 타이틀이라 부르게 된 것이다.

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펠리클 - pellicle

마스크와 레티클에 이물이 끼는 것을 막기 위해, 마스크와 레티클 위에서 일정한 거리까지 설계한 투명한 보호막. 이 일정한 거리(stand off)는 보호막 표면 위에 부착된 이물이 웨이퍼로 전사되는 성질 때문에 설계된다. 또, 보호막은 사용하는 노광광원에 대하여 투과성을 가지며, g선용, i선용, ig선공용, 광대역파장용 등이 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
BUS

컴퓨터 내부에서 데이터나 프로그램을 전송하기 위한 정보 전송용의 공통 통로를 말한다.

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ANSI(American National Standard Institute)

미국의 공업표준을 제정하는 단체이다. 이 단체에서는 미국에서 사용하는 여러가지 표준들을 제정하지만 실제로 이 단체에서 제정한 표준은 거의 세계적으로 사용된다. 이 단체에서 제정한 표준 중 대표적인 것이 정보의 표현을 위한 ASCII이다.

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진공건조장치 - vacuum drying equipment

건조실을 대기압 이하로 배기하여, 세정대상물을 세정하는 용매의 증발속도를 높인 것으로, 온도가 그다지 높지 않은 것, 다공질체, 복잡한 조립품 등의 건조에 이용되는 장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 세정
핫 척 히트업스테이지 - hot chuck heat up stage

프로브 등으로 각 칩의 고온환경에서의 전기특성을 측정가능하도록 웨이퍼를 가열하고 유지하는 부품. 저온환경에서 하는 것을 쿨 척, 일정한 온도환경에서 하는 것을 항온 척이라고 한다.

반/디 용어집 사공정 핸들링
LFE (Low Frequency Effects)

채널을 세분하는 목적은 높은 음량을 가지는 낮은 주파수 정보를 낮은 Distortion으로 재현하기 위하여 적당히 설계된 스피커로 분기하기 위해서이다. 이를 다른 채널과 분리함으로서, 특히 음성을 포함하는 중요한 중역 주파수 부근의 출력에서 Distortion을 줄여서 깨끗한 음을 만들 수 있게 된다. 이것은 주로 영화에서 폭발, 지진과 같은 특수효과를 목적으로 한 5∼120Hz의 주파수 성분을 가지는 채널로, 쥬라기 공원에서 공룡의 발울림과 같은 것이 이에 해당한다. LFE의 효과를 적절히 구현하기 위해서는 서브우퍼가 필요하다. LFE는 충분한 효과를 낼 수 있도록 하기 위하여 통상 레벨보다 10 dB 더 높게 상한선을 정한다. 이를 위해서 돌비 디지털이나 DTS 오디오 트랙에서는 5.1채널을 채용하여, 0.1채널에 LFE를 수용하고 있다.

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

CFL수 - Courant - Friedrichs...

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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LFE (Low Frequency Effects)

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