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적외선 어닐장치 - infrared annealer

자연 램프 등을 이용하여 얻어지는 방사광을 조사하여 단시간에 열처리하는 장치. 방사광 조사의 수단으로써 할로겐램프 어닐장치, 아크램프 어닐장치, 흑연(graphite)히터 어닐장치로 구분된다.

반/디 용어집 어닐장치 웨이퍼처리공정
테스트 시뮬레이터 - test simulator

디바이스 프로그램(테스트 프로그램)을 오프라인으로 시뮬레이션하기 위한 소프트웨어 툴(tool). 디바이스 프로그램의 동작확인 및 시험패턴 등의 디버깅(debugging)에 사용된다.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
화상데이터 처리기 - image data processor

프레임 메모리를 저장한 화소데이터를 처리하기 위한 전용처리기.

반/디 용어집 사공정 이미지센서 검사장치
제철․제망간장치 - deiron demanganese equipment

원수 중의 철과 망간을 제거하는 장치. 철제거는 공기노출(aeration), 전염소처리와 응집침전여과방식으로 처리한다. 망간제거는 전염소처리 후에 망간접촉여과재를 이용한 접촉여과방식으로 처리한다.

반/디 용어집 사공정
키워드 - keyword

컴퓨터에서 자료를 검색할 때 컴퓨터는 우선 찾고자 하는 내용과 관련된 키워드를 찾아낸 다음 원하는 내용을 얻어낸다. 이처럼 키워드는 산적되어 있는 많고도 복잡한 자료를 효과적으로 찾아내는 데 가장 중요한 역할을 맡고 있다.

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질의어, 조회언어 - query langulage

데이터베이스를 정의하고 엑세스하는 도구에는 데이터 정의어(DDL)와 데이터 조작어(DML)가 있다. 질의어는 데이터 조작어의 일종으로 데이터베이스에 담긴 정보를 찾아보거나 조작하기 위해 대개 단말기 상에서 일반 사용자가 대화식으로 간단하게 사용할 수 있다. 질의어는 그 형식이 비절차적이고 문법이 비교적 간단하여 컵퓨터에 숙련되지 않은 일반 사용자들도 쉽게 사용할 수 있다. 근래에는 SQL을 가장 많이 사용하고 있다.

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Compression (video)

영상의 대역폭이나 데이터 율을 줄이는 과정. 현재 사용되는 표준인 PAL, NTSC, SECAM은 아날로그 영상압축 시스템이다. 디지털 시스템에서는 화상을 분석하고 여유분과 반복되는 부분을 찾아내어 불필요한 데이터를 없앤다. 디지털 압축기술은 처음에는 디지털 전송을 위해 개발되었으나 컴퓨터에서 디지털 영상을 취급하게 하고, 디지털 VTR에서 요구되는 저장량을 줄이기 위한 수단으로 채용되어 왔다.

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진공로봇 - robot for using in vacuum

진공실 안에서 기판을 이송하기 위해 사용되는 반송기구의 총칭. 마스크, 웨이퍼 등의 기판의 파티클(particle) 오염을 방지하기 위해, 접히는 부분이 적은 로봇이 사용되고 있다. 보통 직진․회전․상하운동의 기능을 가지고 있다.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
CD선형성 선폭선형성 - CD linearity

기판 위에 형성된 패턴 선폭과 설계 선폭과의 관계의 선형성

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정

기술용어통 처음으로

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

CFL수 - Courant - Friedrichs...

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

적외선 어닐장치 - infrared annealer

테스트 시뮬레이터 - test simulator

화상데이터 처리기 - image data processor

제철․제망간장치 - deiron demanganese equipment

키워드 - keyword

질의어, 조회언어 - query langulage

Compression (video)

진공로봇 - robot for using in vacuum

CD선형성 선폭선형성 - CD linearity

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