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TDDB시험 산화막시변파괴시험 - time dependent dielectric breakdown test

절연파괴전압 이하의 전압을 계속 인가하면, 곧 파괴되는 게이트산화막의 수명시험.

반/디 용어집 사공정 에싱
헬륨리크디텍터 - hellium leak detector

공기밀봉된 패키지의 공기밀봉도를 헬륨가스를 추적가스(tracer gas)로 시험하는 장치. 패키지를 기밀용기에 넣어 헬륨가스를 주입․가압하여 일정시간 유지한 후 꺼내어, 진공용기 중에서 헬륨가스의 유무를 헬륨검사기로 판정한다.

반/디 용어집 조립공정 검사평가
NCP

Netware core protocol

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SPARC

스파크(scalable processor architecture). 미국 선마이크로 시스템즈 사에서 개발한 축소 명령형 컴퓨터 기술을 채택한 32bit 마이크로 프로세서의 명칭.

통신 용어집
전자쉐이딩 효과 - electron shading effect

이온이 수직입사할 때에, 전자는 비스듬히 입사되기 때문에 레지스트 패턴의 측벽을 음(-)으로 차지업시켜, 조밀한 패턴부에서는 전자가 이 음전하와 반발하여 비교적 저속의 전자는 패턴 밑으로 입사되지 않는 현상.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
킬레이트제 첨가세정약품 - chelating agent added cleaning chemical

세정액 중의 중금속 불순물이 웨이퍼 처리시에 표면흡착오염이 없도록, 킬레이트제를 첨가한 약품. SC-1액용의 암모니아수가 사용된다. 이 약품으로 조정된 SC-1액으로 세정한 웨이퍼는 보통 약품의 경우보다 Fe와 Al 등의 오염량이 적게 되고, SC-2액 세정을 생략할 수 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
핀멀티플렉스 기능 - pin - multiplex function

2 핀 용량 이상의 하드웨어를 사용하여, 한 사이클 중에 여러 개의 시험 패턴을 특정 핀에 출력시키는 기능. 시험주파수를 의사적(psued)으로 두 배 또는 그 이상으로 하는 것이 가능하게 된다.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
톱 마크 - saw mark

절단공정에 있어서, 절단으로 생기는 웨이퍼 표면의 무늬.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
패턴제너레이터 - pattern generator

가변(可變) 개구(aperture)의 축소 투영상을 포토마스크에 중복 노광시킴으로써 포토마스크에 패턴을 연소시켜 붙이는 노광장치

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

CFL수 - Courant - Friedrichs...

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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킬레이트제 첨가세정약품 - chelating agent added cleaning chemical

핀멀티플렉스 기능 - pin - multiplex function

톱 마크 - saw mark

패턴제너레이터 - pattern generator

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