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프리(프라 임)디스펜 스 - pre - dispense

스핀식 처리장치에 있어서, 레지스트, 현상액 등의 약액(藥液)을 웨이퍼에 도포하기 전에, 앞에서 했던 공정으로 남아있는 배관 중의 약품을 배출시켜, 신선한 약품으로 다시 주입하는 동작.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도포장치
자동전원제어 - automatic pressure control

처리실내의 압력을 자동적으로 제어하는 것. 현재는, 처리실내의 가스 유량을 일정하게 하여, 압력의 피드백(feedback)을 걸어주어, 배기계의 컨덕턴스를 자동적으로 조정하는 방법이 일반적이다. 간단하게는 배기계의 컨덕턴스를 변화시키지 않고, 가스유량을 변화시켜 처리실내의 압력을 제어하는 것도 있다.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
정렬마크 정합마크 - alignment mark

정렬용으로써, 마스크(레티클)와 웨이퍼 등에 형성된 마크(mark). 마크의 모양은 검출방법에 따라 다르고, 정렬타겟이라고도 부른다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
저압CVD 장치 - low pressure CVD system

반응실 안이 저압(감압)상태로 유지되는 CVD장치. 웨이퍼 표면에서 균일하게 반응이 일어나고, 단차 피복성(step coverage)가 비교적 양호하다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 박막형성장치
전위측정 - potential measure - ment

피측정디바이스에서 방출된 수 eV의 낮은 운동에너지를 갖는 이차전자의 양을 전압으로 변환하여 측정하는 것.

반/디 용어집 사공정 디버그
DC 파라메터 검사장치 - DC parame - ter test program

반도체디바이스의 각종 DC 파라메터를 고정밀, 고분해능으로 측정하는 장치.

반/디 용어집 사공정 디버그
프로젝트21

국제 해사위성 기구인 인말샛이 구상하는 새로운 서비스. 핸드밸드형 휴대전화용 서비스를 겨냥한다. 위성은 저궤도(LEO)뿐만 아니라 중속궤도(MEO), 정지궤도(GEO)를 검토하고 있다.

통신 용어집
하프톤결함 회색결함 - halftone defect gray defect

패턴을 형성하는 차광막(크롬막)의 두께가 부분적으로 얇아지거나, 투명부분에 차광막이 생겨서 투과율이 저하되는 패턴결함.

반/디 용어집 결함검사장치 검사장치
B - ISDN

broadband integrated services digital network

통신 용어집 B-ISDN

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

CFL수 - Courant - Friedrichs...

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

프리(프라 임)디스펜 스 - pre - dispense

자동전원제어 - automatic pressure control

정렬마크 정합마크 - alignment mark

저압CVD 장치 - low pressure CVD system

전위측정 - potential measure - ment

DC 파라메터 검사장치 - DC parame - ter test program

프로젝트21

하프톤결함 회색결함 - halftone defect gray defect

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