대표적인 공정온도제어방식의 하나로써, P(proportional, 비례), I(integral, 적분), D(derivative, 미분)의 세 가지 기본 연산을 이용하여, 목표값과 현재값의 차이를 제어량(전기적 신호)으로 변환하는 것. PID 각 파라메터가 변할 때의 제어특성의 변화를 비교적 쉽게 예측할 수 있다.
반/디 용어집기본․공통웨이퍼처리공정
IP
internet protocol
통신 용어집
프리웻 - pre - wet
메인 스프레이현상 또는 퍼들현상 전에, 물 또는 농도가 낮은 현상액을 웨이퍼 위에 수 초간 적하(滴下)하고, 레지스트의 표면이 현상액에 적응하도록 하는 것.
반/디 용어집웨이퍼처리공정레지스트 처리
BRSA
boundary routing system architecture
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BPS(Bit Per Second)
초당 전송률의 약자. 초당 전송률이란 1초간에 몇 비트를 전송할 수 있는가를 수치로 표현한 것으로 주로 모뎀 등의 통신기기들의 성능을 나타날 때 사용된다. 예를 들어 14,400BPS라고 하면 1초당 14,400개의 비트를 전송할 수 있는 것을 말한다.
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자동소화장치 - automatic fire extinguish - er
장치가 발화(發火)한 경우, 이 것을 감지한 센서의 명령으로 소화제를 분사하여, 빠르게 진화하는 장치. 만일 인화(引火)시킬 때도 연소가 길어지는 것을 막기 위하여 설치할 필요가 있다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정세정
DMTF
PC나 프린터 등을 관리하기 위한 표준 인터페이스. DMTF가 사양을 작성했다. 관리대상은 PC 본체, LAN 보드, 프린터, 모뎀, 주변기기, 소프트웨어 등이다.
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NA 개구수 - numerical aperture
광학계의 명료성(sharpness) 또는 해상도에 관련한 양(量)의 하나. 굴절률이 인 매질 중에서 어떤 광축 위의 물점(物点)이, 입사광의 반경을 예상한 각을 α라고 할 때, NA(개구수)는 sinα이다.