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모아레 토포그래피 - Moire topography

두 개의 가는 격자가 중복될 때에 발생하는 물결무늬(모아레무늬)를 이용하여 물체표면을 등고선으로 표시하는 방법.

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
미러렌즈 투영노광 장치 - mirror - lens projection aligner

투영광학계가 반사 및 굴절계로 구성되어 있는 노광장치. 등배의 투영광학계를 이용한 미러렌즈등배 투영노광장치, 축소투영광학계를 이용한 미러렌즈축소 투영노광장치가 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
셀프바이어스 양극전압강하 - self bias

고주파에 의해 방전하는 경우, 전자와 이온의 이동도가 크게 다를 때, 결합콘덴서에 걸리는 전계에 의해, 고주파전극표면에 발생되는 전극전압강하. 보통 라로 표시한다.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
분류(噴流)식 식각장치 - overflow cup etching system

화학식각액을 컵 모양의 용기에서 넘치는 것처럼 흐르게 하고, 식각면이 이 액체면에 접촉하도록 회전시키면서 웨이퍼의 한 부분의 면만 식각하는 장치.

반/디 용어집 웨이퍼 식각장치 웨이퍼처리공정
모방마스터 - copy master

가공물의 연삭 형상의 모형.

반/디 용어집 기계가공 웨이퍼제공정
불화부동태처리 - fluorine passivation treatment

열불화에 의한 금속의 표면에 불화부동태피막을 형성하는 기술. 불화막의 화학조성은 하지의 금속성분에 의존한다. 불소계의 강부식성가스에 대한 내부식성이 우수하다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
초음파 스프레이 세정장치 - ultrasonic spray cleaning equipment

초음파진동을 가하면서, 세정액을 피세정물에 뿌리는 세정장치. 간단한 스프레이와 비교할 때, 세정력을 높이는 효과가 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
청정도클래스 - cleanliness class

청정도레벨을 등급분할한 표현.

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정
자동치수제어장치 - adaptive controller automatic thickness controller

가공중에 가공물의 치수를 자동적으로 계측하고 계측된 치수로 신호를 보내는 장치. 신호를 보내는 방법으로써, 위아래 정반 사이에 거리를 와전류센서로 표시하는 것, 수정편(水晶片)을 캐리어의 센서에 넣어, 수정 전압효과를 이용하여 표시하는 것 등이 사용되고 있다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 래핑

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

CFL수 - Courant - Friedrichs...

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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자동치수제어장치 - adaptive controller automatic thickness controller

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