반디통 용어집

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보트 엘리베이터 - boat elevator

웨이퍼의 반송에 사용되는 장치의 하나로, 보트를 상하(수직)방향으로 이동시키고, 각 반응관에 보트를 받거나 넘겨주는 장치.

반/디 용어집 산화장치 웨이퍼처리공정
양이온교환수지 - cation exchanger resin

수중에 존재하는 양이온(Na+, Ca2+, Mg2+ 등)을 흡착제거하는 이온교환수지. 양이온을 흡착하는 힘이 강한 강산성양이온교환수지와, 흡착하는 힘이 약한 약산성양이온교환수지의 두 종류가 있다. 또 다공(porous)형, 겔형의 2종류가 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
약품용기 - chemical container

전자공업용약품을 반도체제조공장으로 납입할 때에 사용되는 운반용용기. 같은 용기를 반복하여 사용하는 링크방식과, 매번 새로운 용기를 사용하는 원웨이방식이 있으며, 일반적으로는 전자가 많다. 재질로써는, 용재계약품에는 유리와 스텐인레스동, 산․알칼리계약품으로는 폴리에틸렌, PFA, PTFE(폴리테트라플로로에틸렌) 등이 사용되고 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
상호측정기능 시이얼측정기능 - multiplex test function

두 대 이상의 테스트헤드가 디바이스를 측정하는 것.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
변형조명 경사입사조명 - modified illumination oblique incidence illumination

광노광장치에 있어서, 광학계의 광축 위에 없는 개구를 넣어, 레티클의 노광광속(光束)을 비스듬하게 입사시키는 조명법. 레티클에 의해 회전한 0차광과 +1차 혹은 -1차만으로 노광하는 것으로, 해상도와 DOF를 향상시킨다. 개구 형상에 의해 고리형 조명, 4중극조명 등으로 부른다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
스탬퍼 - stamper

리드프레임의 다이패드부분을 주위보다 한 단계 움푹 들어가게 하는 기구부. 프레스가공에 의해, 다이패드 서포트(support)부를 소성변형시킨다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
양면(兩面) 노광장치 - double sided aligner

기판의 양면에 노광하기 위해 패턴을 정렬하여 노광하는 노광장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
양방향통신 - Two - way Communication

방송국에서 방송하는 것을 수신자가 그저 받기만 하는 일방통신이 아니라, 수신자가 영상과 음성을 반신(반신)하는 통신 시스템. 미국의 CATV에서는 이와같은 시스템을 채택하고 있다. 양방향신호 전송능력이 있는 동축(동축)케이블과 광섬유를 사용하고 있는 CATV에서는 방송응답 서비스.전기. 가스.수도 등의 자동검침(자동검침), 방재.방범 집중감시 시스템, 텔레쇼핑(teleshopping)등의 응용이 가능해졌기 때문에 CATV의 발전이 가일층 기대되고 있다.

통신 용어집 Two-way Communication 양방향통신
신터링 소결(燒結) - sinter

오믹 콘택트(ohmic contant)를 얻기 위해 하는 열처리. Al 전극에 이용되는 것이 많다. 400～500。C의 불활성가스 및 수소가스 분위기 중에서 십～수십 분 동안 열처리한다.

반/디 용어집 어닐장치 웨이퍼처리공정

기술용어통 처음으로

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

CFL수 - Courant - Friedrichs...

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

보트 엘리베이터 - boat elevator

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변형조명 경사입사조명 - modified illumination oblique incidence illumination

스탬퍼 - stamper

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신터링 소결(燒結) - sinter

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