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슬러리 연마액 - slurry

SiO2계의 초미립자를 순수에 10～40 wt%로 섞은 콜로이드 실리카(colloidal silica)성 용제(pH 9～11)로 조합한 연마제.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱장치-성능․정밀도
미러 반전 - mirroring

원래 도형을 거울 상 관계에 있는 도형으로 변환하는 것

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
변수 - variable

10개의 객차로 구성된 전동차가 있다. 이 전동차가 각 역에 정차할 때마다 사람들이 타고 내리는데, 이 때 모든 칸에 똑같은 수의 사람이 타고 내리지는 않는다. 왜냐하면 타는 사람들은 사람이 적은 칸이나 자신이 내리기에 편한 칸에 타려고 할 것이고, 내리는 사람들도 나가는 곳이나 갈아타는 곳이 가까운 쪽으로 몰리기 때문이다. 따라서 전동차의 각 칸에 타고 있는 사람들의 수는 전동차가 역에 정차하고 다시 떠날 때마다 계속 변하게 된다. 여기서 전동차가 각 역을 지나는 것을 프로그램이 단계적으로 실행되는 것이라고 할 때, 각 칸에 타고 있는 사람의 수는 변수값이라고 할 수 있다. 이처럼 변수는 프로그램이 반복적으로 수행될 때마다 변하는 각기 다른 수값을 가리키며 어떤 수치나 문자를 가정하여 기호로 나타낸 것이다. 또 전동차가 역에 정차했을 때 열리는 문도 항상 일정하지 않다. 어떤 역에서는 왼쪽 문이 열리고 어떤 역에서는 오른쪽 문이 열리는데, 열리는 문에 따라 사람들이 내리는 방향도 달라지듯이 변수의 형태도 프로그램에 따라 달라진다. 베이직에서 A=2 라는 프로그램문은 2라는 변수를 A라는 기억장소에 기억시키라는 뜻이 되지만 DATA문을 이용하면 A라는 기억장소에 기억되는 변수값은 DATA문에 의해 영향을 받는다. 프로그램에서의 변수는 위에서처럼 데이터문을 이용하는 경우와 직접 지정하는 경우 등이 있으며, 변수의 형태도 정수형, 실수형 등으로 나뉘어 진다.

통신 용어집 variable 변수
슬립 - slip

Si 웨이퍼의 열처리를 실시할 때, 열응력 등의 응력이 어떤 결정면을 따라 가해질 때, 결정 속에서 미끄러짐에 의해 발생하는 결정결함.

반/디 용어집 특성용어 검사
수소처리 웨이퍼 - hydrogen annealed wafer

고순도 수소분위기하에 열처리한 Si웨이퍼. 반도체소자형성영역이 웨이퍼표면부의 산소를 바깥으로 확산시켜, 표층의 산소농도를 크게 낮춤과 동시에 결함핵(缺陷核)도 용해하여, 이상적인 DZ층을 형성시켜 반도체소자제조의 수율향상시킨 Si웨이퍼

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼제공정
소전류이온 주입장치 - low current ion implanter

빔전류량의 최대값이 0.5mA 미만의 이온주입장치.

반/디 용어집 이온 주입장치 웨이퍼처리공정
스케일방지제 - scale inhibitors

냉각수 중에 녹아 있는 난용성염이 농축되어 고체상태로 굳어, 열교환기와 배관 등에 부착된 것을 스케일이라 하고, 이것들을 방지하는 약품을 말한다. 스케일로써는 탄소칼슘, 실리카 등이 있고, 방지제로써는 아크릴산계 몰리머 등이 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
불량해석 메모리 - failure analysis memory

기능검사에 의한 불량정보를 테스트사이클마다 저장하는 메모리. 즉, 불량해석메모리의 일부를 디바이스의 불량셀 어드레스를 저장하는 메모리를 AFM(address failure memory)라고 하고, 디바이스에 불량이 발생할 때 패턴발생기가 발생한 각종 패턴을 저장하는 메모리를 DFM(data failure memory)라고 한다.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
불량비트맵 - fail bit map

메모리소자의 불량해석방법의 하나. 불량 셀의 위치(어드레스)를 시각적으로 확인할 수 있도록 도시하는 방법 또는 도시된 지도.

반/디 용어집 사공정 디버그

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

CFL수 - Courant - Friedrichs...

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

슬러리 연마액 - slurry

미러 반전 - mirroring

변수 - variable

슬립 - slip

수소처리 웨이퍼 - hydrogen annealed wafer

소전류이온 주입장치 - low current ion implanter

스케일방지제 - scale inhibitors

불량해석 메모리 - failure analysis memory

불량비트맵 - fail bit map

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