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사이트배열 - site array

FQA 안에 있어서 규정된 사이트의 배열

반/디 용어집 검사 웨이퍼제공정
버스트 증폭기( - 增幅器) - Burst Amplifier

컬러 TV 수상기의 반송파 신호로부터 컬러 버스트(color burst : 색동기 신호라고도 하며, 색 신호를 올바르게 재생하는 데 필요한 기준이 되는 신호)를 뽑아내서 증폭하는 대역 증폭 회로를 가진 증폭기. 수평 동기 신호를 이용해서 컬러 버스트를 분리하는데, 수평 동기 신호의 백 포치(back porch : 후부 포치. 복합 색신호의 동기 펄스의 후연(後緣)으로부터 귀선 소거(歸線消去) 신호의 후연까지의 부분)와 시간적으로 다르므로 지연 회로를 통해서 시간을 일치시키고 있다.

통신 용어집 버스트 증폭기 Burst Amplifier
샷 - shot

한 번의 노광 광조사(光照射). 또는, 이런 노광에서 빛을 받는 영역.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
백킹 패드 - backing pad

왁스리스 연마로 웨이퍼를 지지하는 템플레이트의 밑에 있고 웨이퍼에 데미지를 주지않도록 하면서 지지하는 부재. 일반적으로 부드러운 폴리우레탄의 발포체(發泡體)가 이용되는 일이 많다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 폴리싱장치-성능․정밀도
연마폐수처리장치 - grinding waste water treatment equipment

기판연만, 절삭 등에 의해 발생하는 미세입자를 포함하는 폐수를 처리하는 장치. 응집제를 첨가하는 응집침전법과 물의 회수를 목적으로 한 막 분리법 등이 있다.

반/디 용어집 초순수장치 설비․환경공정
스파크갭 - spark gap

TEA CO2 레이저의 주방전을 개시하기 위한 트리거용 방전전극.

반/디 용어집 조립공정 마킹
빔에지 분해능 - beam edge resolution beam edge slope

기판면 위에 결상(imaging)된 전자빔의 전류밀도분포곡선에 있어서, 빔의 끝에 서의 곡선의 상승부분(또는 하강부분)의 폭. 일반적으로, 전류밀도가 10％에서 90％까지 상승부분 사이의 폭으로 표시한다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
압축기 - compressor

공기 등의 기체를 압축하여 승압시키는 기계. 종류에는 리시프로(reciprocal)식, 터보식, 스크류식 등이 있으며, 반도체용도에는 보통 오일프리 사양의 것이 사용된다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
배기압력제어 - exhaust pressure control

청정실의 국소배기계에 있어서, 배기덕트내 압력을 검출하여, 배기팬, 공조기팬의 풍량을 제어하여 배기압력을 일정하게 유지하고, 소정의 제어풍속을 얻는 시스템

반/디 용어집 청정실 설비․환경공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

CFL수 - Courant - Friedrichs...

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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버스트 증폭기( - 增幅器) - Burst Amplifier

샷 - shot

백킹 패드 - backing pad

연마폐수처리장치 - grinding waste water treatment equipment

스파크갭 - spark gap

빔에지 분해능 - beam edge resolution beam edge slope

압축기 - compressor

배기압력제어 - exhaust pressure control

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