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스캔선형성 - scan uniformity

묘화장치로 빔을 스캔할 때, 스캔 방향의 좌표 정밀도. 일반적으로, 스캔 선형성은 묘화 패턴의 이상적인 값과의 부정합된 값의 최대값으로 표현된다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
박막형성장치 - thin film deposition system

마스크 블랭크에 박막을 붙이는 장치로, 스퍼터링(sputtering)장치․CVD장치․진공 증착장치 등이 있다.

반/디 용어집 마스크 블랭크 제조 마스크제조공정
밴드블레이드 - band blade

얇은 띠 모양의 판을 자르는 기구. 단면에 연마입자를 고착시킨 것고 고착하지 않은 것이 있다. 전자는 주로 엔드리스밴드톱 절단기에, 후자는 여러 장을 겹친 멀티밴드 절단기에 사용된다.

반/디 용어집 기계가공 절단장치-하드기능
액상 에피택셜 성장장치 - liqiud phase epitaxial growth system

성장에 쓰이는 재료를 과포화한 용액 중에 단결정의 시드(웨이퍼)를 접촉시켜, 양자 간에 온도를 균일하게 배분하여, 웨이퍼표면에 에피택셜층을 성장시키는 장치.

반/디 용어집 에피택셜 성장장치 웨이퍼처리공정
비지캘크 - VISICALC

PC용으로 작성된 최초의 전자계산용 소프트웨어로서, 애플 II 컴퓨터에 사용하기 위해 만들어진 것이다. 애플 컴퓨터가 출현한지 2년 후인 1978년도에 발표되어 PC 사용자들에 의해 엄청난 인기를 끈 비지캘크 프로그램은 당시 하버드 대학 경영대학원 재학 중이던 댄 브리클린(Dan Bricklin)과 그의 친구이자 프로그래머인 로버트 프랭크스톤(Robert Frankston)에 의해 만들어졌다. 어느날 교수가 변수가 달라질 때마다 재무모델을 일일이 다시 계산하는 복잡하고 반복적인 작업을 애플 II 컴퓨터를 이용하여 처리해 보고자 마음먹은 것이 바로 이 최초의 전자계산용 소프트웨어가 출현하게 된 배경인 것이다. 이 프로그램의 개발로 종전에는 며칠씩 걸리던 재무계산 작업을 수분 내에 해치울 수 있게 되었으며, 64KB의 주기억장치와 한 개의 디스크 드라이브만 있으면 프로그램의 작동이 가능하므로 사용자들에게 큰 경제적 부담을 주지 않아도 되었다. 따라서 비지캘크는 엄청나게 팔려 나갔으며 개인용 컴퓨터의 보급과 발전에도 지대한 공헌을 하게 되었다. 또한 그 이후로 많은 다른 전자계산용 프로그램의 개발이 연이어 이루어지게 되었다.

통신 용어집
순수(純水) 냉각 - deionized water cooling

이온주입장치의 고전압터미널 속과 엔드 스테이션 시스템을 순수(純水)로 냉각하는 것. 순수냉각은, 절연성이 양호하기 때문에 이용되고 있는 프론 대신 사용되고 있다. 내전압성과 빔 계측오차를 고려하여 순수의 비저항을 관리할 필요가 있다.

반/디 용어집 이온 주입장치 웨이퍼처리공정
약품농도계 - chamical concentration meter

현상액과 식각액의 성분농도를 자동적으로 측정하는 분석장치. 측정성분으로써, 테트라메틸암모늄하이드로옥사이드 농도, 질산과 염산, 질산과 인산 등을 동시에 측정하며, 전기전도도법, 초음파법, 근적외선흡수법, 적정(滴定)법 등을 이용한다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
세정․건조 장치 - cleaner and dryer

마스크 블랭크 위에 원화패턴을 형성한 후, 이것들을 세정 및 건조하는 장치로써, 초음파세정장치․스크럽세정장치․고압수분사세정장치․화학세정장치․건조장치 등이 있다. 이들 장치의 용어의 의미는 웨이퍼처리공정의 용어를 참조할 것.

반/디 용어집 마스크제조공정 패턴형성장치
스트로브 - strobe

양․불량을 판정할 때, 시간적인 위치를 정하는 값.

반/디 용어집 기본․공통 사공정

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

프란틀 수 - Prandtl number

탄성계수 - elastic modulus

공칭 응력 - nominal stress

CFL수 - Courant - Friedrichs...

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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약품농도계 - chamical concentration meter

세정․건조 장치 - cleaner and dryer

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