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분화분자량 - cut - off molecular weight cut - off level

막(특히 UF막)의 구멍지름을 평가하는 지표. 막이 특정의 저지율로 저지하는 최소의 분자량. 여기서 말하는 특정의 저지율은, 표준물질로써, 인슐린, 폴리에틸렌글리콜과 덱스트란(dextran) 등을 이용하여, 통상 저지율 90% 또는 95%의 값이 사용되고 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
알고리즘 패턴발생기 ALPG 메모리 엑서사이저 - algorithmic pattern generator memory exerciser

메모리 IC의 평가를 위하여 리드(read) 또는 라이트(write)하는 메모리센서의 어드레스신호를 일정한 연산방법에 기초하여, 순차적으로 발생시킬 수 있는 패턴발생기.

반/디 용어집 사공정 디버그
블레이드마모보정 - blade wear compensation

블레이드의 마모에 의한 홈의 깊이가 감소하는 것을 방지하기 위하여, 블레이드의 높이를 자동적으로 보정하는 기능.

반/디 용어집 조립공정 다이싱
블레이드돌출량 - blade exposure

플랜지 밖으로 돌출한 칼의 길이. 절삭깊이에 따라 변화하지만, 400～700㎛가 일반적이다.

반/디 용어집 조립공정 다이싱
산란 효과 - scattering effect

전자빔을 묘화할 때, 전자빔이 산란되고 확산되는 것에 의한 효과인데, 레지스트에 입사한 전자가 레지스트를 구성하는 원자와 충돌하여 진행방향으로 산란이 확산되면서, 진입해 가는 전방산란과, 레지스트를 관통한 후에 기판을 구성하는 원자와 충돌하여 진행방향과 반대 방향으로 산란하는 후방산란효과가 있다. 이것들은 공통적으로 가속전압, 레지스트막의 두께 등에 의존한다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
반응로이동스트로크 - furance lift travel

대역용융법, 수직형브릿지만법, 수평브릿지만법에 있어서, 가열로를 이동하여 정제할 때의 가열로의 이동가능거리. 단위는 (㎝) 또는 (㎜)로 표시한다.

반/디 용어집 웨이퍼제공정 단결정제조
스핀현상장치 - spin developer

웨이퍼를 회전시켜서, 레지스트의 현상, 세정, 건조하는 장치. 액의 공급방식에 따라, 스프레이형, 퍼들(puddle)형으로 구분되며, 또 웨이퍼의 회전상황에 의해 회전형과 정지형이 있다. 액공급계, 스핀모터, 컵의 조합으로 구성되어 있다. 액제사용, 알칼리수용액사용 등의 사용액의 종류에 따라 형식이 달라지는 것도 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 레지스트 처리
서브루틴 - subroutine

서브루틴이란 프로그램 실행 도중 호출되어 사용되는 또다른 프로그램을 말한다. 이것은 보통 한 프로그램 내에서 여러번 반복되어지는 프로그램들을 하나로 묶어놓은 것으로, 메인 프로그램에서는 이들 서브 프로그램들을 필요할 때마다 수시로불러서 사용할 수 있다. 구구단 프로그램을 통해 좀 더 자세히 알아 보도록 하자. CLS PRINT "GUGUDAN" INPUT "INPUT THE GUGUDAN NUMBER";A GUGUDAN(A) PRINT "END OF GUGUDAN" SUB GUGUDAN(N) FOR I = 1 TO 9 PRINT N; "*";I;"=";I*N NEXT I 위 프로그램에서 위 다섯 줄이 메인 프로그램이고 아래 네 줄이 서브 프로그램이다. 구성을 보면 우선 메인 프로그램에서는 사용자에게 원하는 구구단을 입력하도록 하고 있으며 숫자가 입력되면 GUGUDAN이라는 서브 프로그램을 호출하도록 되어 있다. 그리고 일단 서브 프로그램이 호출되면 서브 프로그램은 그에 해당하는 작업(여기서는 넘겨진 숫자에 1부터 9까지를 곱하여 출력하는 일)을 하고 작업이 끝나면 다시 메인 프로그램으로 돌아가 다음 작업을 수행하게 된다. 물론 위의 프로그램의 경우는 간단하기 때문에 굳이 GUGUDAN이라고 는 서브프로그램을 만들 필요없이 메인 프로그램 내에서 바로 처리하여도 무리가 없다. 그러나 좀 더 복잡한 프로그램의 경우에는 메인 프로그램 내에서 같은 작업을 반복하는 프로그램을 포함시켜 작성함으로써 프로그램의 방대함으로 인해 효율성이 떨어질 염려가 있으므로 적절한 서브루틴 작업이 필요하다.

통신 용어집 서브루틴 subroutine
싱글카세트 로터 - single cassette rotor

원심건조장치의 대형카세트 1개가 중심부에 수납되는 로터.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 세정

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자주 찾는 용어

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마찰계수 - friction coefficient

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