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정전파괴 - static demage

정전기 유도 현상에 의해, 마스크에 일단 전하가 축적된 상태에서, 방전에 의한 발열로 마스크 패턴의 일부가 녹아 패턴에 결함이 발생하는 것.

반/디 용어집 기본․공통 마스크제조공정
전자압축기 바이어스 - electron suppressor bias

이온빔이 타겟에 주입되는 과정에 있어서, 여러 가지 전극, 개구(aperture) 등에 충돌한다. 이 때, 발생하는 이차전자가 발생장소에서 외부로 새나가지 않도록 전기장, 또는 자기장을 걸어주는 기구.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도핑
CSMA/CD

인간의 눈으로 모든 사물을 볼 수 있는 것은 사물이 가지고 있는 색을 우리가 인식할 수 있기 때문이며, 이것은 빛에 의해서 가능해진 것이다. CRT는 우리가 필요로 하는 정보 즉 문자나 그림 등을 TV나, 컴퓨터로 출력시키는 데 이용되는 장치로서, 컴퓨터에서는 모니터의 화면을 지칭한다. CRT는 독일의 브라운(Braun)이라는 과학자에 의해 완성되었기 때문에 브라운관으로도 통하며, CRT보다 브라운관이라는 말이 오히려 더 잘 알려져 있다.

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져스트에칭 - just etching

식각되는 재료의 막두께와 같은 깊이의 식각을 하는 것, 또는 이런 상태.

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
혼상식이온교환탑 - mixed bed column

한 개의 이온 교환수지탑 중에, 양이온교환수지와 음이온교환수지 양쪽을 충전하여 사용하는 설비. 복상식과 비교하여 고순도의 물이 얻어진다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
프롤로그 - PROLOG

PROgramming LOGic의 약어로서, 기호 논리에 의거한 유연성이 있는 프로그래밍 언어이다. 제5세대 컴퓨터, 인공지능용 언어로서 많은 기대를 모으고 있다.

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ACAP(Advanced Common Application Platform)

ACAP은 미국 데이터방송 표준의 하나로 지상파 데이터방송과 케이블 데이터방송에서 콘텐츠의 호환성을 위해 ATSC (Advanced Television Systems Committee)와 CableLaps의 공조로 만들어진 ATSC 표준안이다.

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해상도 분해선폭 분해능 - resolution

기판 위의 폭, 간격이 동일한 선폭레지스트 패턴을 형성할 때의 실용적인 최소선폭인데, 밑의 수식으로 구할수 있다. C1127 : 계수 : 파장 : 개구수 이 0.5일 경우를 한계해상도로 취급하지만, 일반적으로은 양산(量産)라인에서 0.7, 연구레벨에서 0.6을 이용하고 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
히든 파일 - hidden file

히든이란 우리말로 감추어져 있다는 뜻이다. 그러므로 히든 파일은 보이지 않게 감추어진 파일을 말한다. 파일을 보이지 않게 감추는 주된 이유는 그 파일을 보호하기 위해서이다. 만약 그렇게 해두지 않으면 파일들의 내용을 제대로 파악하지 못한 사용자가 변경하거나 삭제해서는 안될 중요한 파일을 없애거나 수정할 수 있기 때문이다. 이러한 사용자의 실수를 방지하기 위해 특정의 파일에 대해 사용자가 파일의 이름이나 내용을 알려주는 명령을 수행해도 관련 정보가 나타나지 않도록 해 두는 경우가 있는데, 이러한 파일을 히든 파일이라고 한다.

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

CFL수 - Courant - Friedrichs...

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해상도 분해선폭 분해능 - resolution

히든 파일 - hidden file

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