검사장치 - inspection equipment

마스크 블랭크의 모양, 막의 특성, 막 두께, 결함 이물 등을 검사하는 장치인데, 플래트니스 테스터(flatness tester), 간섭계, 광학식 농도계, 가시광선․자외선 분광 광도계, 저외선 분광 광도계, 주사(走査)형 터널전자현미경, 오제(Auger)전자현미경, 촉침식(觸針式)막후(膜厚)계, 에립소메타(ellipsometer), 주사형 전자현미경, EPMA, 이물검사장치 등이 있다.