챔버 - chamber

기술용어통 반디통 용어집
결정성장에서 바깥 공기를 차단하고, 분위기를 유지하기 위해 설치한 용기. 구조상 석영관을 사용한 자연공랭형과 스테인레스망으로 만들어진 수랭형에서는 자켓구조, 동관으로 감긴 구조가 있다.
기술용어통 챔버 category-bandi 웨이퍼제공정 단결정제조 단결정제조장치-하드웨어기능

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