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빔사이즈 - beam size

성형빔 방식의 전자빔 묘화장치에 있어서, 기판면 위에 형성된 전자빔상의 크기.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
선폭정밀도 - line width accuracy

선 패턴을 웨이퍼 위에 노광 전사 후, 현상하여 얻어지는 레지스트 위의 선폭의 정밀도.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 노광
빔드리프트 - beam drift

전자광학경통(鏡筒)의 설정조건과 묘화조건을 일정하게 유지하는데 있어서, 전자빔의 모든 특성이 시간에 따라 변하는 것

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
스택커블 허브

쌓아올려서 설치할 수 있도록 설계된 허브. 브리지나 라우터의 스택커블 타입도 있으나 일반적으로는 10BASE-T 허브(멀티포트 리피터)이다. 특징은 SNMP 에이전트 기능의 추가가 용이한 점과 여러 허브를 1대의 리피터로 동작시키는 구성이 갖춰져 있다는 점이다. 최근에는 여러 세그멘트를 설정할 수 있는 제품도 등장하고 있다.

통신 용어집 스택커블 허브
비정재파형초음파발생장치 - nonstanding wave type ultrasonic generator

초음파 세정에 관한 세정얼룩의 원인이 되는 정재파의 발생을 억제하기 위해, 서로 다른 주파수나 위상차를 갖는 여러 개의 초음파를 세정액에 가하는 초음파발생장치.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 습식세정장치
스킵측정 - skip measure - ment

테스트 프로그램에 있어서 지정된 측정항목을 실행하지 않고 다음 단계로 넘어가는 기능.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
묘화 모드 - writing mode

패턴을 묘화하는 양식. 묘화할 때, 어드레스 사이즈, 대상(마스크와 레티클), 묘화 스피드, 혹은 묘화 데이터 포맷 등이 설정가능한 파라메터로 표현된다.

반/디 용어집 노광․묘화장치 마스크제조공정
어스펙트비 - aspect ratio

현상된 레지스트막 또는 식각으로 웨이퍼 위에 형성된 패턴의 깊이와 폭의 비. 어스펙트비=b/a (a : 식각폭, b : 식각의 깊이)

반/디 용어집 건식식각장치 웨이퍼처리공정
스크램블

데이터 계열을 의사(疑似) 랜덤화하는 것. 전자방해 대책으로서 네트워크에 흐르는 데이터에 스크램블을 할 수 있다. FDDI에서는 네트워크상의 데이터가 존재하지 않을 때, 아이돌 패턴(1의 연속신호)을 전송하고 있는데, 아이돌 패턴의 기본 주파수에 집중적으로 전자파가 방출되어 주변의 전자회로에 오동작을 일으킬 우려가 있다.

통신 용어집 스크램블

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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어스펙트비 - aspect ratio

스크램블

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