일차순수를 원수로 하여, 초순수를 제거하는 장치. 유즈포인트의 근방에 설치된다. 시스템은 저압자외선 산화장치, 카트리지폴리셔, 압력여과막(정밀여과막, UF막, RO막)에 의해 구성된다.
반/디 용어집설비․환경공정물
소프트 베이킹 프리베이킹 - soft - bake pre - bake
웨이퍼 위에 레지스트를 도포한 후, 도포막 속의 잔류용제를 증발시키고, 도포막과 웨이퍼의 밀착성을 강화하기 위해 실시하는 열처리. 노광 전에 실시하기 때문에, 폴리머가 중합되거나 첨가물의 열분해가 일어나지 않는 온도 이하에서 실시한다.
반/디 용어집베이킹장치웨이퍼처리공정
비디오 온 디맨드
유저가 요구하는대로 텔레비전 프로그램이나 영화 등을 제공하는 서비스이다. 가정의 단말기로 보고 싶은 프로그램을 호출하면, 영상을 축적하고 있는 데이터베이스센터에서 영상을 검색해 고속 광대역 전송로를 통해 각 가정의 단말기에 보내준다. 이 서비스를 실현하기 위해서는 고속 광대역의 전송로, 영상을 축적하는 센터설비인 비디오 서버, 그리고 가정에 전용 단말기(셋톱 박스) 등 3개 부분으로 구성된다. 센터설비인 비디오 서버는 고속의 CPU로 영상을 고속 입출력하는 대용량의 기억장치와 또한 고속의 다중/분배장치로 구성된다. 이 서비스는 쌍방향 CATV의 대표적인 메뉴로 등장했다.
통신 용어집
시즈닝 - seasoning
식각실의 세정(cleaning) 또는 부품교환 후에 공정조건을 안정시키기 위해 여러 번 더미웨이퍼(dummy wafer) 등을 이용하여 식각사이클(etching cycle)을 실시하는 것
반/디 용어집건식식각장치웨이퍼처리공정
습식세정장치 웻스테이션 - wet cleaning equipment wet station
약용액․유기용매․물 등 액체를 사용하여 세정하는 장치. 유해한 약품과 용매의 증기가 발생하는 세정장치에는, 실내의 증기가 확산되지 않게 배기구(outlet)가 붙어있다. 또 약액에 대응하는 내산성 플라스틱, 유기용매에 대응하는 스테인리스강(stainless 鋼)이 몸통의 재료로 사용된다. 장치전용의 팬필터장치를 천장에 갖춘 팬필터형과 없는 오픈형으로 크게 구분된다.
반/디 용어집웨이퍼처리공정습식세정장치
분리배선
건축물의 인입접속점으로부터 각 층의 장치함까지 종합유선방송 구내전송선로설비와 공시청설비 및 그 부속설비를 각각 따로 설치하는 것을 말한다. 2005.1.1부터 신축한 주택에 대해서는 의무적으로 분리배선을 설치하도록 하였다.
통신 용어집
사이트크기 - site size
웨이퍼 평탄도 측정에 있어서 사이트의 크기. 보통㎜×㎜로 나타낸다. 셀크기(cell size)라고 불리우는 것도 있다.