반디통 용어집

CAE 입문자도 쉽게 이해할 수 있는 '알기 쉬운 기술 용어집'

CAE 용어집

CAE 관련 용어를 확인해 보세요.

반/디 용어집

반도체 / 디스플레이 공정 및 장비 관련 용어를 확인해 보세요.

통신 용어집

통신 분야의 다양한 용어를 확인해 보세요.

All
CAE
반도체∙디스플레이
통신

습식배기처리장치 - wet type exhaust gas abatement equipment

반도체제조장치 등에서 배출되는 유해가스를, 약액과 물을 이용하여 무해화하는 장치. 액체를 이용하므로 습식이라 부른다. 충전탑과 스프레이탑 등의 스크러버와 기포탑 등이 해당된다.

반/디 용어집 가스 설비․환경공정
목적 코드 - object code

일반적으로 우리는 고급 언어를 사용하여 프로그램을 작성한다. 컴퓨터는 언어는 크게 고급 언어와 저급 언어(기계어)로 나누어 지는데, 고급 언어의 경우 사용하는 명령어들이 우리가 일상적으로 접하는 언어와 비슷하여 프로그램 작성이 비교적 수월하다. 그러나 기계어는 말 그대로 기계, 즉 컴퓨터가 이해하기 쉽도록 만들어진 언어이기 때문에 사람이 이것을 이용, 프로그램을 작성하기는 매우 어렵다. 실제로 컴퓨터는 프로그래머들이 고급 언어를 이용하여 작성한 프로그램은 아무 것도 이해하지 못한다. 그러면 컴퓨터는 어떻게 프로그램을 이해하고 실행하는 것일까? 프로그램은 크게 원시 프로그램(source program)과 목적 프로그램(object program)으로 나눌 수 있다. 원시 프로그램이란 소스 프로그램이라 하여 프로그래머가 처음 작성한 프로그램을 말하며 목적 프로그램이란 원시 프로그램을 이용하여 어떠한 형태로든지 컴퓨터가 이해할 수 있는 표기법으로 바뀌어진 프로그램을 말한다. 다시 말해 우리가 작성한 프로그램은 그 자체로서 실행되는 것이 아니라 항상 목적 프로그램이라는 내용은 같으나 표기가 다른 새로운 프로그램에 의해 실행되고 있다. 목적 프로그램은 대부분 컴파일러나 인터프리터라는 번역기에 의해 생성되는데 이처럼 프로그램 실행을 위해 만들어진 목적 프로그램에 사용되는 코드가 바로 목적코드라는 것이다. 목적 코드는 대부분 기계 코드로 되어 있으나 때로는 기계 코드 자체는 아니지만 프로그램을 실행시키기 위한 기계 코드를 만들어내는 데 아주 적합한 형태로 되어 있기도 하다.

통신 용어집
빔 제어 - beam control

일차전자빔의 주사를 회전 및 편향하여, 주사형 전자현미경(SEM)의 회전, 이동제어기와 함께, 전자광학계의 대물렌즈의 여자전류를 제어하여 빛을 한 점으로 모으는 것.

반/디 용어집 사공정 디버그
소스캐비넷 - source cabinet

산화장치, 열확산장치, CVD장치 등에 있어서, 산화막형성, 불순물확산, 박막형성의 반응에 필요한 소스(주로 가스)를 공급하기 위한 시스템을 넣어 두는 캐비넷. 가스배관, 밸브, 유량계측기(flow meter), 유량제어기(mass flow meter) 등이 수납된다.

반/디 용어집 산화장치 웨이퍼처리공정
슈퍼버퍼 메모리 SBM HBM - superbuffer memory high speed buffer memory

테스트패턴 메모리에 한번에 수납할 수 없는 장대한 LSI패턴에 대하여, 패턴전송의 오버헤드의 경감을 목적으로 한 서포트메모리(support memory).

반/디 용어집 기본․공통 사공정
스핀모터 회전수 - rotation speed

스핀도포기, 스핀디벨로퍼에 있어서 웨이퍼를 회전시키는 모터의 회전수를 가리키며, 일반적으로 [rpm](또는[rad/s])로 표현한다. 스핀도포를 할 때, 레지스트 막두께는 회전수에 의존하기 때문에 회전수의 안정이 막두께의 균일성, 재현성에 매우 중요하다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도포장치
슬로우펌핑 소프트배기 - slow pumping slow roughing soft roughing

파티클이 발생하는 것을 방지하기 위해, 대기압 상태인 챔버를 진공상태로 바꾸는 공정에서 컨덕턴스를 조여 느린 속도로 공기를 챔버 밖으로 방출하는 것

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼처리공정
세이브 - save

세이브는 '저장하다'라는 뜻의 단어이다. 사용자가 작성한 프로그램은 램이라는 컴퓨터의 주기억장치에 자리잡고 있다가 컴퓨터의 전원이 끊어지면 그대로 사라져 버려 다시는 그 프로그램을 쓸 수 없게 된다. 이러한 컴퓨터의 특성 때문에 플로피 디스크나 하드 디스크와 같은 보조기억장치에 자료를 안전하게 저장시켜야 하는데, 이를 위해 사용하는 명령이 save(세이브)이다. save(세이브)는 원래 베이직 상에서 작성된 프로그램을 보조기억장치에 저장시키고자 할 때 사용하는 명령어였으나 현재는 베이직 뿐만 아니라 각종 워드프로세서, 스프레드시트, 데이터베이스와 유틸리티 프로그램 등 거의 모든 프로그램에서 데이터를 보조기억장치에 저장할 때의 명령어로도 사용하고 있다.

통신 용어집
상압CVD 장치 - atmospheric pressure CVD system

반응실 안의 압력이 대기압인 CVD장치. 증착속도가 빠르고, 단차 피복성(step coverage)가 비교적 양호하다.

반/디 용어집 CVD 장치 웨이퍼처리공정

기술용어통 처음으로

반디통 용어집

CAE 용어집

반/디 용어집

통신 용어집

자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

감쇠비 - damping ratio

탄성계수 - elastic modulus

프란틀 수 - Prandtl number

공칭 응력 - nominal stress

최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

CFL수 - Courant - Friedrichs...

습식배기처리장치 - wet type exhaust gas abatement equipment

목적 코드 - object code

빔 제어 - beam control

소스캐비넷 - source cabinet

슈퍼버퍼 메모리 SBM HBM - superbuffer memory high speed buffer memory

스핀모터 회전수 - rotation speed

슬로우펌핑 소프트배기 - slow pumping slow roughing soft roughing

세이브 - save

상압CVD 장치 - atmospheric pressure CVD system

더 빠른 설계를 위한 첫 걸음!