웨이퍼 뒷면에 막이 성장하는 것을 막기 위한 구조. 금속 CVD 등으로 반응가스가 웨이퍼 뒷면에 휘어져 들어와 불완전하게 막이 성장하여, 박리에 의해 입자가 발생하기 때문에 이 방법을 이용한다.
반/디 용어집CVD 장치웨이퍼처리공정
온도프로필 - temperature profile
원통형 히터 안의 반응관에 있는 관 길이 방향의 온도분포. 반응로 안의 온도와 거리와의 관계를 표시한다.
반/디 용어집산화장치웨이퍼처리공정
와이어주행방식 - wire running method
와이어톱에 있어서, 와이어를 주행시키는 방식. 와이어를 한 방향으로 주행시키는 방식과 와이어의 주행방향을 교대로 전환하는 쌍방향방식이 있다. 쌍방향 방식에는 시소기구가 있는 경우와 없는 경우가 있다.
반/디 용어집기계가공절단장치-하드기능
이더넷
전송속도 10Mbps인 LAN 표준 규격의 일종. 여러 단말기가 동일 전송로를 공유한다. 각 단말기가 전송로의 신호 유무를 조사해 다른 단말기가 신호를 송출하고 있지 않은가를 확인해 데이터를 송출하는 전송로 액세스 방식(CSMA/CD)을 사용한다. 여러 밴더가 같은 사양의 하드웨어, 소프트웨어를 판매한다.
통신 용어집
열충격검사 - thermal shock test
측정하려는 디바이스를 고온 및 저온에 노출시켜, 급격하게 온도를 변화시키는 사이클 시험. 온도사이클시험이 기체로 열을 가하지만, 열충격검사는 액체를 사용하고 있다.
반/디 용어집사공정에싱
이더타입
이더넷의 상위 프로토콜 식별자. 이더넷 프로토콜의 타입 필드에 들어있다. ARP, IP, X.25 등을 식별하며, DEC, 3Com, AT&T, IBM, 노벨 등의 메이커(독자 프로토콜) 식별에도 이용되고 있다.
통신 용어집
일조식 세정장치 원 배쓰식 세정장치 - one bath type cleaning equipment
한 개의 세정처리부(수조․탱크․챔버 등)에서 여러 세정처리를 순차적으로 진행할 수 있는 장치. 장치점유면적이 작지만, 반면에 쓰루풋(throughput)이 저하된다.