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스페어 로우/컬럼 예비행/렬 림보 - spare row/ column limbo

메모리디바이스의 불량구제를 위해 설치된 예비 셀. 불량셀은 행(row), 또는 열(column)단위로 치환된다. 또, 스페어로우와 스페어컬럼의 교점을 림보라고 한다.

반/디 용어집 기본․공통 사공정
백결함수정 - repair of clear defect

기판 위의 투명결함(백결함)부분에 C, Cr 등의 불투명물질을 부착시켜 결함을 수정하는 것. 리프트오프법․레이저 CVD법․이온빔유기 CAD법․스퍼터링법 등이 있다.

반/디 용어집 검사장치 마스크제조공정
밀러 - 브라베 지수 - Miller - Bravais indices

육방격자의 면과 방향을 나타내기 위한 지수. 좌표축으로는 4개의 축(밑면에서 각각 120°를 이루고 있는 a1, a2, a3 축과 세로의 중심축C)를 이용하고, 어떤 면을 이 축에 대하여 미러지수와 같게 나타내면 [hkil]과 같이 된다.

반/디 용어집 기본․공통 웨이퍼제공정
반사방지막 ARC - anti - reflection coating

UV광을 흡수 또는 감쇠시키는 특징을 가지며, 노광할 때 발생되는 정재파(standing wave)와 헐레이션(halation)을 감소시키기 위해, 레지스트막의 상부나 하부에 위치한 막. 레지스트막 위에 위치하는 것을 TOP-ARC, 레지스트막의 아래에 위치하는 것을 BOTTOM-ARC 라고 구분하는 경우도 있다.

반/디 용어집 웨이퍼처리공정 도포장치
스파이럴형역침투막모듈 - spiralwound type reverse osmosis membrane module

2장의 역침투막을 그 안쪽에 투과수 유로재를 끼워 넣고 파이프모양으로 접합하여, 그 개방된 한 쪽을 중심파이프에 접속시켜, 원뿔모양으로 말아올린 역침투막. 압력용기 내에 몇 개를 충전시켜 사용한다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물
스티치본딩 - stitch bonding

3개 이상의 본드점을 연속하여 와이어에 접속하는 방법. 와이어절단은 마지막본딩 후에 실시된다. 또는, 캐필러리 둘레의 일부분에 의해 와이어를 눌러붙여 실시하는 본딩을 말하기도 한다.

반/디 용어집 조립공정 본딩
시프터 - shifter

위상 시프트 마스크(PSM)에 있어서, 빛의 파장을 변화시켜 위상차를 발생시키는 물질. SOG, SiO2 등이 이용된다. 시프터 막의 두께d는 d=λ/2 (n-1) [λ:빛의 파장, n:시프터의 굴절률]일 경우에 위상은 180̊반전된다.

반/디 용어집 기본․공통 마스크제조공정
시스템 프로그램 - system program

컴퓨터를 활용하는 데 필요한 프로그램은 크게 시스템 프로그램과 응용 프로그램으로 나누어 진다. 응용 프로그램은 컴퓨터 사용자의 업무를 처리하기 위해 작성된 프로그램으로, 우리가 일반적으로 사용하는 그래픽, 게임, 데이터베이스프로그램 등이 여기에 해당된다. 이에 대비되는 개념인 시스템 프로그램은 컴퓨터 자체의 동작에 관련되는 프로그램으로, 운영체제, 언어의 컴파일러, 링커, 라이브러리 프로그램 등이 포함된다. 이들 프로그램들은 컴퓨터 사용자나 응용 프로그래머들에게 여러가지 편의를 제공한다.

통신 용어집 시스템 프로그램 system program
방식제 - corrosion inhibitors

냉각수장치에 사용되고 있는 금속재료의 부식을 방지하는 약품. 인염산, 포스폰염산, 카르본산계 폴리머 등이 있다.

반/디 용어집 설비․환경공정 물

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자주 찾는 용어

폰 미제스 응력 - von Mises stress

마찰계수 - friction coefficient

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프란틀 수 - Prandtl number

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최대 전단응력(트레스카) 이론 - maximum...

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