유체에 의한 냉각은 크게 공기와 액체로 구분합니다. 액체가 공기에 비해 전도율이 높기 때문에 더 큰 냉각효과를 얻을 수 있으나, 밀도가 높아 관로처럼 형태가 갖춰진 형태가 요구되게 됩니다. 웨이퍼 하부에 수냉유로가 있을 때 온도의 변화가 어떻게 이루어지는지 확인하는 예제입니다.
112
평점 :
10
유동해석 웨이퍼
반도체 디바이스 제조에 있어서 반드시 필요한 열처리 공정에서 사용되는 열처리 장비는 웨이퍼 전체의 온도를 균일하게 유지하고 측정하거나 제어하는 능력이 우수해야 합니다. 특히 온도를 상승 및 하강할 때 웨이퍼의 원주 부분이 내부보다 온도가 일반적으로 낮아질 경우 이러한 웨이퍼
1830
평점 :
9
유동해석 열처리
ALL
