제타전위 계면동전위

고체와 액체의 경계면에 있는 전위차로, 경계면 동전(動電)현상으로 관찰되는 미끄럼 면의 전위. 세정에 의해, 웨이퍼에의 입자의 부착을 방지하는 것에는, 웨이퍼와 입자 사이에 척력이 작용하도록 용매의 pH를 조정하고 계면활성제를 첨가하여, 웨이퍼 및 입자의 제타전위를 같은 부호로, 가까운 값으로 조정하는 것이 유효하다.