웨이퍼 스테이지

웨이퍼를 노광위치로 이동시켜 위치를 결정하는 기구로써, XY평면내의 이동과 위치를 결정하는 XY스테퍼와, Z방향의 위치결정(focusing), Z축 주변의 회전위치결정(웨이퍼 θ) 및 X축과 Y축 주면의 회전위치결정(tilting)을 행하는 미동스테이지의 양스테이지를 포함하는 기구.