웨이퍼가열 기구 - wafer heating mechanism

웨이퍼를 가열하는 데 이용되는 시스 히터, 적외선 램프 히터 등의 총칭. 웨이퍼의 직경이 커짐에 따라 웨이퍼 안을 균일하게 가열해야 하므로, 최근에는 발열체와 웨이퍼를 열로 매개해주는 He, Ar 등의 가스를 사용한 가스매체가열이 중요한 기술이 되고 있다.