외관검사 - visual inspection

마스크의 패턴 결함과, 패턴의 모양, 유리표면의 흠, 오염, 얼룩 등을 검사하는 것의 총칭. 미세한 검사는 자동화되어 있으나, 거시적인 검사는 투광기, 슬릿램프(slit lamp) 등으로 경사광(傾斜光) 조명을 하는 육안 검사가 행해지고 있다.