수직일방향류형청정실 수직층류형청정실 다운플로우클린룸 - vertical laminar flow clean room cleanflow clean room

기술용어통 반디통 용어집
ULPA 필터 등으로 구성된 천정의 전면에서 공기가 내실로 유입되고, 마주보는 바닥의 전면으로 흘러 나가도록 된 공간에, 수직으로 일방향류가 흐르는 형식의 청정실. 넓은 공간에 있어서 매우 높은 청정도가 얻어진다.
기술용어통 category-bandi 가스 설비․환경공정 가스공급시스템

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