반데어포우법 - Van der Pauw method

기술용어통 반디통 용어집
전극 a→b 사이의 전류 Iab를 흘려줄 때의 전극 c→d 간의 전압 Vcd, 또는 b→c 사이에 전류를 Ibc를 흘려줄 대의 전극 d→a 사이의 전압 Vda를 측정하여, 저항률(ρ), 이동도(μ)를 계산하여 구하는 방법. 홀효과 및 비저항측정법의 일종, 시료모양에 상관없이 측정하는 방법.
기술용어통 category-bandi 물성검사장치 검사 웨이퍼제공정

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