언더컷 측방식각 - undercut side etching

식각마스크 재료의 끝부분보다 측면방향의 식각되는 재료의 식각이 진행되어, 식각되는 재료의 패턴폭이, 식각마스크 폭보다 감소된 상태. 용액의 식각과 라디칼(radical)의 플라즈마 식각에 현저하게 보인다. 미세패턴의 형성에는, 언더컷을 작게하는 것이 중요한 기술이다.