램프 CVD장치 - ultraviolet lamp heating system

램프광원장치과, 웨이퍼 가열용 히터를 내장한 반응실로 구성된 CVD장치. 램프광원에는 자외선(200～300nm)와 진공자외선(200nm)의 파장범위를 발생하는 램프를 이용한다. 반응분자의 광분해, 즉 분자의 포텐셜에너지가 자외선을 흡수하고 전자 여기상태로 상승한 후 분해된 것을 이용한다.