초순수 - ultrapure water

초순수제조장치에 의해 수중의 현탁물질, 용해물질 및 불순물을 고효율로 제거한 높은 고순도의 물. 극미량의 미립자수, 생균수, TOC, 실리카, 용재산소, 금속이온 등이 문제가 된다. 용해물질로써는, 10억분의 1단위(㎍/l) 레벨의 순도가 요구된다. 미립자에 관해서는 최소 패턴치수법의 10분의 1이상 크기의 것이 문제가 된다.