ULPA필터 - ultra low penetration air filter ULPA filter

기술용어통 반디통 용어집
정격 풍량으로 입자직경이 0.15㎛의 입자에 대응하여 99.9995%이상의 입자포집률을 갖고, 또 초기압력손실이 일반적으로 300Pa(30㎜H2O)이하의 성능을 갖는 공기필터. 특히 입자포집효율이 99.9999%이상의 것을 초ULPA필터라고 부른다.
기술용어통 category-bandi 가스 설비․환경공정 가스공급시스템

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