내부연마클린실린더 - ultra clean cylinder

전해복합연마와, 전해연마를 병용하여, 내면을 가공변질층이 없는 거울면으로 마무리하는 실린더. 미립자의 발생이 적고, 감압시의 탈가스의 발생을 억제하며, 초고순도가스를 저장할 수 있다. 또, 내면을 기계적으로 연마하여 표면정밀도를 높인 47l형 실린더도 있다.