연마정반 밑정반 플래튼 - turn table platen

기술용어통 반디통 용어집
연마포를 부착한 원판. 화학적으로 침투되지 않는 재질(예 스테인리스강)로 만들어진다. 연마열의 발생을 막기 위해 정반을 일정의 온도로 유지하는 온도검출기능과 수냉기구를 갖는 것도 있다.
기술용어통 category-bandi 웨이퍼제공정 폴리싱장치-성능․정밀도 폴리싱 연마정반 밑정반 플래튼 turn table platen

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